[实用新型]真空镊子用吸附片和真空镊子有效
| 申请号： | 200720126520.2 | 申请日： | 2007-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN201122586Y | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 小柳和真 | 申请（专利权）人： | 新日本无线株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 镊子 吸附 | ||
1. 一种真空镊子用吸附片，是与平板基板的一个表面接触，构成吸附保持上述平板基板的真空镊子的前端部的吸附片，其特征在于，包括：
平面状表面部，具备了与上述平板基板的一个表面相接而吸附的吸引口；
上述吸附片内部的内部吸引通路，在与上述吸引口连通的同时，与在内部具备了吸引通路的上述真空镊子的主体部连接；
侧面部，具备了与上述吸引通路连接的上述内部吸引通路的连接口；以及
多个凸起部，在上述平面状表面部背面的上述侧面部一侧，突出于上述平面状表面部的背面一侧，相互隔开配置。
2. 一种真空镊子用吸附片，是与平板基板的一个表面接触，构成吸附保持上述平板基板的真空镊子的前端部的导电性的吸附片，其特征在于，包括：
平面状表面部，具备了与上述平板基板的一个表面相接而吸附的吸引口；
上述吸附片内部的内部吸引通路，在与上述吸引口连通的同时，与在内部具备了吸引通路的上述真空镊子的主体部连接；
侧面部，具备了与上述吸引通路连接的上述内部吸引通路的连接口；以及
多个凸起部，在上述平面状表面部背面的上述侧面部一侧，突出于上述平面状表面部的背面一侧，相互隔开配置。
3. 一种真空镊子，这是吸附保持平板基板的真空镊子，其特征在于，
包括：镊子主体部，在内部具备了吸引通路；以及吸附片，与连接在该镊子主体部前端的上述平板基板接触，
该吸附片包括：
平面状表面部，具备了与上述平板基板的一个表面相接而吸附的吸引口；
上述吸附片内部的内部吸引通路，在与上述吸引口连通的同时，与在内部具备了吸引通路的上述真空镊子的主体部连接；
侧面部，具备了与上述吸引通路连接的上述内部吸引通路的连接口；以及
多个凸起部，在上述平面状表面部背面的上述侧面部一侧，突出于上述平面状表面部的背面一侧，相互隔开配置。
4. 一种真空镊子，这是吸附保持平板基板的真空镊子，其特征在于，包括：镊子主体部，在内部具备了吸引通路；以及导电性的吸附片，与连接在该镊子主体部前端的上述平板基板接触，
该吸附片包括：
平面状表面部，具备了与上述平板基板的一个表面相接而吸附的吸引口；
上述吸附片内部的内部吸引通路，在与上述吸引口连通的同时，与在内部具备了吸引通路的上述真空镊子的主体部连接；
侧面部，具备了与上述吸引通路连接的上述内部吸引通路的连接口；以及
多个凸起部，在上述平面状表面部背面的上述侧面部一侧，突出于上述平面状表面部的背面一侧，相互隔开配置。
5. 一种真空镊子，这是吸附保持半导体晶片的真空镊子，其特征在于，包括：镊子主体部，在内部具备了吸引通路；以及导电性的吸附片，与连接在该镊子主体部前端的上述半导体晶片接触，
该吸附片包括：
平面状表面部，具备了与上述半导体晶片的一个表面相接而吸附的吸引口；
上述吸附片内部的内部吸引通路，在与上述吸引口连通的同时，与在内部具备了吸引通路的上述真空镊子的主体部连接；
侧面部，具备了与上述吸引通路连接的上述内部吸引通路的连接口；以及
多个凸起部，在上述平面状表面部背面的上述侧面部一侧，突出于上述平面状表面部的背面一侧，相互隔开配置。
6. 一种真空镊子，这是吸附保持形成了半导体元件的半导体晶片的真空镊子，其特征在于，
包括：镊子主体部，在内部具备了吸引通路；以及导电性的吸附片，与连接在该镊子主体部前端的上述半导体晶片接触，
该吸附片包括：
平面状表面部，具备了与上述半导体晶片的一个表面相接而吸附的吸引口；
上述吸附片内部的内部吸引通路，在与上述吸引口连通的同时，与在内部具备了吸引通路的上述真空镊子的主体部连接；
侧面部，具备了与上述吸引通路连接的上述内部吸引通路的连接口；以及
多个凸起部，在上述平面状表面部背面的上述侧面部一侧，突出于上述平面状表面部的背面一侧，相互隔开配置。
7. 根据权利要求5或权利要求6中的任一项所述的真空镊子，其特征在于，
上述凸起部由以与上述半导体晶片的定位边部接触的尺寸隔开配置的2个凸起部构成。
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