[实用新型]一种等离子体蒸发镀膜机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜机，特别涉及用于对PP、PC、PET、PVC等绝缘塑料制品镀膜用的真空镀膜机。

背景技术

现有的用于手机、DVD、MP3、PDA的外壳、按键等镀膜的真空镀膜机由真空系统、蒸发源和工装系统组成。为了获得综合表面性能，塑料镀膜后一般还需要喷涂一层保护膜，这样不仅导致镀膜工艺流程复杂，而且难以保证膜层的质量。授权公告号为CN 2675685Y、授权公告日为2005年2月2日、名称为《加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机》的实用新型专利，能够很好地解决镀铝和镀保护膜同机进行的问题，流程简单。它们采用了两个对称放置的射频天线，是由不锈钢与紫铜复合而成的弧面或平面板状体。在工作时一方面射频放电过程中会产生自偏压效应，会对射频天线产生较强溅射作用，溅射出来的粒子会污染膜层，降低镀膜的质量；另一方面射频天线靠近真空室壁放置，等离子体靠扩散运动到工件表面，使得工件表面附近的等离子体密度低，在制备保护膜的过程中效率不是很高。再者由于射频天线的布置会影响等离子体分布，真空室内等离子体分布可能不是很均匀，使得工件支架上不同位置的工件的膜层质量存在一定差异。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种等离子体蒸发镀膜机，它可以解决现有的蒸发镀膜机存在工件上不同位置的膜层质量有差异、镀膜质量难以保证的问题。

本实用新型由镀膜真空室装置、工装装置、等子体源装置和蒸发源装置组成；所述镀膜真空室装置由镀膜真空室体、进气管、室门、泵组组成；所述工装装置由转台装置、转轴、第一绝缘件、转动机构、绝缘动密封件组成；所述等离子体源装置由射频等离子体电源、匹配箱、具有工件支架功能的射频天线组成；所述蒸发源装置由蒸发电源、蒸发源电极、电热丝、金属条或金属棒材、第二绝缘件、电极电缆组成；所述进气管的一端穿过镀膜真空室体的底端面装在镀膜真空室体内，镀膜真空室体侧壁上设有室门，所述泵组的输入端装在镀膜真空室体的侧壁上且与镀膜真空室体连通，所述转台装置装在镀膜真空室体内的底端面上，所述设置在镀膜真空室体外面的转动机构的输出端与转轴的输入端通过第一绝缘件连接，转轴的输出端穿过装在镀膜真空室体底端面的绝缘动密封件与装在镀膜真空室体内的转台装置固接，转轴通过设置在镀膜真空室体外面的导线与匹配箱和射频等离子体电源的输出极连接，所述转台装置上固装有具有工件支架功能的射频天线，所述至少两个蒸发源电极装在镀膜真空室体的中间，至少两个蒸发源电极之间沿纵向设置有一组水平放置的电热丝，每个电热丝的两端与蒸发源电极连接，每个电热丝内放置有金属条或金属棒材，电极电缆的一端与设置在镀膜真空室体外面的蒸发电源的两端连接，电极电缆的另一端穿过装在镀膜真空室体顶端面上的第二绝缘体与蒸发源电极的顶端固接。

本实用新型具有以下有益效果：1、由于射频天线本身具有工件支架功能，使得工件支架自身作为等离子体源，等离子体就在工件周围产生，大大提高了工件周围的等离子体密度、等离子体利用率和镀膜效率，且不同位置的膜层质量相同。2、在蒸发镀膜过程中，工件表面镀上铝膜或者其他金属膜之后，工件就会和工件支架处于导通状态，工件也成为射频天线的一部分。在射频放电的时候，不仅能够自身产生等离子体，同时由于射频放电产生的自偏压效应，因而会对工件表面产生一定的溅射作用，从而能够起到活化工件表面作用，进一步提高膜层质量。3、由于在工件支架上产生等离子体激励，实际上部分蒸发的铝原子或者其他原子也可以得到离化，从而增加膜基结合力。4、本实用新型具有结构简单、工作可靠的优点，可满足PP、PC、PET、PVC等绝缘塑料制品镀膜的质量要求。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构主视图；图2是图1的A-A剖面图(泵组4和转台装置5没有画出)；图3是齿轮24与内齿圈26啮合的俯视图；图4是转台装置的主视图(用以支撑轴承22的绝缘矮支架20和用以支撑固定内齿轮26的绝缘高支架21未画图)。

具体实施方式