[实用新型]一种等离子体蒸发镀膜机

权利要求书

1、一种等离子体蒸发镀膜机，它由镀膜真空室装置、工装装置、等子体源装置和蒸发源装置组成；其特征在于所述镀膜真空室装置由镀膜真空室体(1)、进气管(2)、室门(3)、泵组(4)组成；所述工装装置由转台装置(5)、转轴(6)、第一绝缘件(7)、转动机构(8)、绝缘动密封件(17)组成；所述等离子体源装置由射频等离子体电源(9)、匹配箱(10)、具有工件支架功能的射频天线(12)组成；所述蒸发源装置由蒸发电源(13)、蒸发源电极(14)、电热丝(15)、金属条或金属棒材(16)、第二绝缘件(18)、电极电缆(19)组成；所述进气管(2)的一端穿过镀膜真空室体(1)的底端面装在镀膜真空室体(1)内，镀膜真空室体(1)侧壁上设有室门(3)，所述泵组(4)的输入端装在镀膜真空室体(1)的侧壁上且与镀膜真空室体(1)连通，所述转台装置(5)装在镀膜真空室体(1)内的底端面上，所述设置在镀膜真空室体(1)外面的转动机构(8)的输出端与转轴(6)的输入端通过第一绝缘件(7)连接，转轴(6)的输出端穿过装在镀膜真空室体(1)底端面的绝缘动密封件(17)与装在镀膜真空室体(1)内的转台装置(5)固接，转轴(6)通过设置在镀膜真空室体(1)外面的导线与匹配箱(10)和射频等离子体电源(9)的输出极连接，所述转台装置(5)上固装有具有工件支架功能的射频天线(12)，所述至少两个蒸发源电极(14)装在镀膜真空室体(1)的中间，至少两个蒸发源电极(14)之间沿纵向设置有一组水平放置的电热丝(15)，每个电热丝(15)的两端与蒸发源电极(14)连接，每个电热丝(15)内放置有金属条或金属棒材(16)，电极电缆(19)的一端与设置在镀膜真空室体(1)外面的蒸发电源(13)的两端连接，电极电缆(19)的另一端穿过装在镀膜真空室体(1)顶端面上的第二绝缘体(18)与蒸发源电极(14)的顶端固接。

2、根据权利要求1所述的一种等离子体蒸发镀膜机，其特征在于所述转台装置(5)由绝缘矮支架(20)、绝缘高支架(21)、第一轴承(22)、转台(23)、齿轮(24)、轴承组(25)、内齿圈(26)、第二轴承(27)组成；所述用以支撑第一轴承(22)的绝缘矮支架(20)、用以支撑固定内齿圈(26)的绝缘高支架(21)固装在镀膜真空室体(1)内的底端面上，绝缘矮支架(20)上由下至上装有第一轴承(22)和转台(23)，绝缘高支架(21)上装有内齿圈(26)，内齿圈(26)内装有至少一个与内齿圈(26)啮合的齿轮(24)，所述镀膜真空室体(1)内装有与齿轮(24)数目相同的具有工件支架功能的射频天线(12)，每个具有工件支架功能的射频天线(12)的下端穿过相应的齿轮(24)与装在转台(23)上端面圆孔内的第二轴承(27)固接，装在转台(23)上端面圆孔内的具有工件支架功能的射频天线(12)上装有轴承组(25)，每个具有工件支架功能的射频天线(12)与相应的齿轮(24)固接，转轴(6)的输出端穿过装在镀膜真空室体(1)底端面上的绝缘动密封件(17)与装在镀膜真空室体(1)内的转台(23)的下端面固接。

3、根据权利要求1所述的一种等离子体蒸发镀膜机，其特征在于所述泵组(4)由机械泵(28)、分子泵(29)、第一阀门(30)、第二阀门(31)、插板阀(32)、光栅阀(33)组成；所述机械泵(28)的输入端通过第一阀门(30)和第二阀门(31)分别与光栅阀(33)和分子泵(29)的输出端连接，分子泵(29)的输入端与插板阀(32)的输出端连接，插板阀(32)的输入端与光栅阀(33)的输出端连接，光栅阀(33)的输入端与镀膜真空室体(1)连通。

4、根据权利要求2所述的一种等离子体蒸发镀膜机，其特征在于所述装在内齿圈(26)内的至少一个齿轮(24)沿内齿圈(26)的圆周分布。

5、根据权利要求4所述的一种等离子体蒸发镀膜机，其特征在于所述内齿圈(26)内装有六个与内齿圈(26)啮合的齿轮(24)。