[实用新型]研磨垫调节器的缓冲结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及化学机械研磨装置，尤其涉及一种研磨垫调节器的缓冲结构。

背景技术

化学机械研磨的制程中，研磨台与晶圆载具分别沿一定的方向旋转，研磨台上设有研磨垫，其表面凹凸不平，可用于传输研磨液。当研磨垫使用一段时间后，表面会被磨的平坦，以致研磨速率降低，同时研磨垫上的一些空洞会被一些研磨液堵塞，影响研磨效果。因此需要研磨垫调节器，通过其上的钻石颗粒刮粗研磨垫表面，同时去除残留在研磨垫中的堵塞的研磨液。研磨垫调节器内部设有一个缓冲结构，这个缓冲结构用于研磨垫调节器下压，使研磨垫调节器的钻石颗粒来调节研磨垫表面。

请参阅图1，为现有技术中的研磨垫调节器的缓冲结构的示意图。该研磨垫调节器主要由支撑环，中心圆片以及连接中心圆片和支撑环的十子架构组成。十子架构的中段分别设有一段弯折部分，用于增加十子架构的弹性性能，可以缓冲研磨垫调节器在使用过程中的压力。然而，现有研磨垫调节器的十子架构的弯折部分很薄，容易断裂，一旦十子架构的一端断裂就会影响到研磨垫调节器的调节精度，需要频繁检查并更换该缓冲结构，不仅降低了生产效率，而且相应提高了生产成本。

因此，现需要一种改进的研磨垫调节器的缓冲结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种改进的研磨垫调节器的缓冲结构，其使用寿命大大增加。

为实现上述目的，本实用新型提供一种研磨垫调节器的缓冲结构，其首先安装在研磨垫调节器上，然后再将研磨金刚石盘安装到研磨垫调节器上；其中，该结构整体是一个圆形结构，该圆形结构从最外缘到圆心分别包括最外缘的一圈凸块结构，中部设置的弯折段，临近圆心的环形凸块以及中心凹陷部。凸块结构与研磨垫调节器配合。环形凸块与研磨垫调节器配合。中心凹陷部与研磨金刚石盘相配合。缓冲结构中部设置的弯折段呈同心圆分布，用于增加整个缓冲结构的弹性。

与现有技术相比，本实用新型整体为一个圆形结构，有效解决现有技术中十子架构容易断裂的缺点，延长了研磨垫调节器的使用寿命，不仅使生产效率得以提高而且降低了生产成本；同时设置了呈同心圆分布的弯折段，增大了弯折的面积，从而增强了弹性性能以及缓冲性能。

附图说明

通过以下对本实用新型的一实施例结合其附图的描述，可以进一步理解其实用新型的目的、具体结构特征和优点。其中，附图为：

图1是现有技术研磨垫调节器的缓冲结构的俯视图。

图2是本实用新型研磨垫调节器的缓冲结构的俯视图。

图3是本实用新型研磨垫调节器的缓冲结构的侧视图。

具体实施方式

本实用新型的研磨垫调节器的缓冲结构与研磨垫调节器(未图示)，研磨金刚石盘(未图示)相配合，其整体是一个圆形结构。在安装本实用新型的缓冲结构时，首先将其安装到研磨垫调节器上，然后再在研磨垫调节器上安装研磨金刚石盘。

请参阅图2和图3，该缓冲结构从最外缘到圆心分别包括最外缘的一圈凸块结构21，中部设置的弯折段25，临近圆心的环形凸块27以及中心凹陷部29。

凸块结构21用于与研磨垫调节器安装。缓冲结构的中部设置的弯折段25呈同心圆分布，用于增加整个缓冲结构的弹性。在本实用新型较佳实施例中，弯折段25的最内圈距离圆心的半径19mm，最外圈距离圆心的半径为34mm；实验证明，弯折段25设置在距离圆心半径19mm至距离圆心半径34mm的范围内，可以达到较好的弹性。

中心凹陷部29用于与研磨金刚石盘配合安装，环形凸块27与凸块结构21与研磨垫调节器配合安装。

本实用新型整体为一个圆形结构，有效解决了现有技术中十子架构容易断裂的缺点，同时设置了呈同心圆分布的弯折段25，增大了弯折的面积，从而增强了弹性性能以及缓冲性能。