[实用新型]研磨垫调节器的缓冲结构有效
| 申请号： | 200720071432.7 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN201089113Y | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 陈肖科 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 调节器 缓冲 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨垫调节器的缓冲结构，其首先安装在研磨垫调节器上，然后再将研磨金刚石盘安装到研磨垫调节器上；其特征在于：该结构整体是一个圆形结构，该圆形结构从最外缘到圆心分别包括最外缘的一圈凸块结构，中部设置的弯折段，临近圆心的环形凸块以及中心凹陷部。
2.如权利要求1所述的一种研磨垫调节器的缓冲结构，其特征在于：凸块结构与研磨垫调节器配合。
3.如权利要求1所述的一种研磨垫调节器的缓冲结构，其特征在于：环形凸块与研磨垫调节器配合。
4.如权利要求1所述的一种研磨垫调节器的缓冲结构，其特征在于：中心凹陷部与研磨金刚石盘相配合。
5.如权利要求1所述的一种研磨垫调节器的缓冲结构，其特征在于：缓冲结构中部设置的弯折段呈同心圆分布，用于增加整个缓冲结构的弹性。
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