[实用新型]压电传感器的基片

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种压电传感器的部件，具体涉及一种构成压电传感器压电片的基片。

背景技术

压电传感器是一种物性传感器，其灵敏度取决于压电片的弹性柔顺系数。压电片一般由基片和粘合于基片两面的压电晶片构成，压电片的弹性柔顺系数主要取决于基片的材质、几何尺寸以及几何形状等。目前，提高压电片基片弹性柔顺系数的措施主要有以下几种：

1.通过减薄基片厚度提高压电片弹性柔顺系数。由于基片减薄，刚性变差，而且基片自身的假频以及抗横向干扰的能力变低，因此，传感器采集有效纵波信号的质量随之降低。

2.非金属材质的“井字型”网孔基片，虽然可以提高压电片的弹性柔顺系数，但由于随着变形量的增大，其弹性滞后和蠕变会随之增大，使漂移度增大，导致传感器信号的质量变差。

3.铜丝编织的网状基片，其压电片的弹性柔顺系数较高，但铜丝网结构的基片不仅弹性滞后较大，而且难以均匀固定，故迄今未实施应用。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种压电传感器的基片，其解决了背景技术中刚性差、抗横向干扰能力差，或弹性滞后大，而导致传感器信号质量差的技术问题。

本实用新型的技术解决方案是：

一种压电传感器的基片，包括基片1，其特殊之处在于：所述的基片1为金属基片，该基片1与压电晶片相粘合的部位上均布有照相腐蚀孔2，所述照相腐蚀孔2的加工精度≥0.1mm，所述照相腐蚀孔2的面积S≤10(mm)²。

上述照相腐蚀孔2的面积S可≤1(mm)²。

上述照相腐蚀孔2的孔径D根据设计需要还可≤0.1mm。

上述照相腐蚀孔2的形状可为圆形、三至多边形、梅花形等。

上述基片1的厚度h可≤0.1mm。

上述基片1的厚度h根据设计需要还可≤0.01mm。

上述照相腐蚀孔2的加工精度可≥0.01mm。

上述照相腐蚀孔2的加工精度根据设计需要还可≥0.001mm。

上述基片1以采用为高弹金属基片为佳。

上述基片1可采用恒性合金、铍青铜，以钛合金为佳。

本实用新型具有以下优点：

1.照相腐蚀孔整体分布的均匀性好，加工精度高，形成孔的毛刺微小。基片自身的假频高，抗横向干扰能力强，弹性柔顺系数高。

2.基片的平整度好，基片与压电晶片相粘合的施胶厚度可为0.01mm，且施胶易于均匀。

3.照相腐蚀孔可以设置成密度非常大的孔，基片在加工至非常薄时仍可确保良好的刚性。

4.基片的弹性以及柔韧性好，抗疲劳性好。弹性滞后和蠕变小，漂移度小，传感器信号的品质优良。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

压电片一般由基片1和粘合于基片1两面的压电晶片构成，压电片的弹性柔顺系数主要取决于基片1的材质、几何尺寸以及几何形状等。压电片做弹性振动时，基片1上的网孔可消除内应力。

参见图1，本实用新型的基片1为金属基片，基片1以采用为高弹金属基片为宜。基片1的弹性以及柔韧性好，抗疲劳性好，弹性滞后和蠕变小，漂移度小，传感器信号的品质优良。基片1具体可采用钛合金、恒性合金或铍青铜等，以钛合金为佳。基片1与压电晶片相粘合的部位上均布有照相腐蚀孔2。照相腐蚀孔2的形状可为圆形、三至多边形、梅花形等。

本实用新型照相腐蚀孔2整体分布的均匀性好，加工精度高，形成孔的毛刺微小，基片1自身的假频高，抗横向干扰能力强，弹性柔顺系数高。照相腐蚀孔2的加工精度根据设计需要一般可≥0.1mm，或≥0.01mm。本实用新型的照相腐蚀孔2的加工精度可达到≥0.001mm。照相腐蚀孔2可以设置成密度非常大的孔，且基片1在加工至非常薄时仍可确保良好的刚性。基片1的平整度好，基片1与压电晶片相粘合的施胶厚度可为0.01mm。照相腐蚀孔2的面积S根据设计需要一般≤10(mm)²，较多的≤1(mm)²，本实用新型照相腐蚀孔2的孔径D根据设计需要可≤0.1mm。本实用新型基片1的厚度h可≤0.1mm，根据设计需要还可≤0.01mm。