[实用新型]压电传感器的基片有效
| 申请号： | 200720031970.3 | 申请日： | 2007-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN201045581Y | 公开（公告）日： | 2008-04-09 |
| 发明（设计）人： | 朱军 | 申请（专利权）人： | 朱军 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人： | 徐平 |
| 地址： | 710082*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电传感器的基片，包括基片(1)，其特征在于：所述的基片(1)为金属基片，该基片(1)与压电晶片相粘合的部位上均布有照相腐蚀孔(2)，所述照相腐蚀孔(2)的加工精度≥0.1mm，所述照相腐蚀孔(2)的面积S≤10(mm)2。
2.根据权利要求1所述的压电传感器的基片，其特征在于：所述照相腐蚀孔(2)的面积S≤1(mm)2。
3.根据权利要求1所述的压电传感器的基片，其特征在于：所述照相腐蚀孔(2)的孔径D≤0.1mm。
4.根据权利要求1或2或3所述的压电传感器的基片，其特征在于：所述照相腐蚀孔(2)的形状为圆形、三至多边形、梅花形。
5.根据权利要求4所述的压电传感器的基片，其特征在于：所述基片(1)的厚度h≤0.1mm。
6.根据权利要求5所述的压电传感器的基片，其特征在于：所述基片(1)的厚度h≤0.01mm。
7.根据权利要求6所述的压电传感器的基片，其特征在于：所述照相腐蚀孔(2)的加工精度≥0.01mm。
8.根据权利要求7所述的压电传感器的基片，其特征在于：所述照相腐蚀孔(2)的加工精度≥0.001mm。
9.根据权利要求8所述的压电传感器的基片，其特征在于：所述的基片(1)为高弹金属基片。
10.根据权利要求9所述的压电传感器的基片，其特征在于：所述的基片(1)为恒性合金、铍青铜或钛合金。
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