[实用新型]一种新型镀膜机无效
| 申请号: | 200720021624.7 | 申请日: | 2007-04-30 |
| 公开(公告)号: | CN201089794Y | 公开(公告)日: | 2008-07-23 |
| 发明(设计)人: | 董立生;袁强;李宁 | 申请(专利权)人: | 山东龙光天旭太阳能有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54;C23C14/22 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 262200山东省潍*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 新型 镀膜 | ||
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜设备领域,具体涉及一种新型镀膜机。
背景技术
目前,由于镀膜机内构造的特殊性,圆头上方空间大小固定。在进行真空管镀膜时,由于真空管长度不同,圆头处膜色易发生变化,且不易控制,影响产品质量。
发明内容
本实用新型的目的就是提供一种操作方便,使圆头处膜色易控制,从而生产出高质量的产品。
为了实现上述目的,本实用新型的技术方案是:在镀膜室3中、待镀真空管5的上方设置一与真空管相垂直的盖板2,盖板2为一不锈钢板,可以利用待镀真空管的长度来调节不锈钢板的高度,对镀膜机镀膜室内的指标进行控制,提高产品质量。
附图说明
现结合附图对本实用新型作进一步的说明:
图1为本实用新型结构示意图。
图中1、靶材 2、盖板 3、镀膜室 4、镀膜室外壳 5、待镀真空管
具体实施方式
本实用新型包括靶材1,盖板2,镀膜室3,镀膜室外壳4,待镀真空管5。
在设有盖板2之前,镀膜室3的大小不可调。设盖板2后,可以通过调节盖板2在镀膜室外壳4的上下滑动,从而改变镀膜室3的空间大小,此举可以更好的控制镀膜室3内的各种指标,使待镀真空管5圆头处易得到控制,较好地调节膜色,提高产品的质量。
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