[实用新型]一种新型镀膜机无效
| 申请号： | 200720021624.7 | 申请日： | 2007-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN201089794Y | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 董立生;袁强;李宁 | 申请（专利权）人： | 山东龙光天旭太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 262200山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型镀膜机，主要由靶材(1)、镀膜室外壳(4)组成，其特征在于：在镀膜室(3)中、待镀真空管(5)的上方设置一与真空管相垂直的盖板(2)，盖板(2)为一不锈钢板。
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