[实用新型]一种紫外曝光机有效
| 申请号： | 200720008960.8 | 申请日： | 2007-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN201122230Y | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 林丹;潘守兴;朱丽娟;林磊 | 申请（专利权）人： | 福州高意光学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350014福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 曝光 | ||
【权利要求书】：
1、一种紫外曝光机，包括壳体、光源控制系统和曝光室，曝光室设有盖板、曝光平台和发光装置，曝光平台设在发光装置的上方，曝光平台的下方设有气孔，发光装置的下方设有散热装置，发光装置由光源控制系统连接控制，壳体一侧设有光源控制系统的操作指示面板，其特征在于：发光装置包括印刷电路板和阵列式均匀排列在印刷电路板上的紫外发光二极管。
2、根据权利要求1所述的一种紫外曝光机，其特征在于：其紫外发光二极管由四个以上组成方形或正六边形阵列。
3、根据权利要求1所述的一种紫外曝光机，其特征在于：其印刷电路板为铝基印刷电路板或FR4印刷电路板。
4、根据权利要求1所述的一种紫外曝光机，其特征在于：其光源系统控制包括高功率二极管驱动模块和控制模块，控制紫外发光二极管均匀发光的数量和曝光的范围。
5、根据权利要求1所述的一种紫外曝光机，其特征在于：其曝光平台采用紫外线透射率高的玻璃片。
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