[发明专利]柔性显示器件及其制造方法

说明书

本申请要求享有于2007年1月26日提交的韩国专利申请No.P2007-08397的权益，在此引入其所有内容作为参考。

技术领域

本发明涉及一种柔性显示器件及其制造方法，尤其涉及一种适合于提高可靠性的柔性显示器件及其制造方法。

背景技术

在显示器市场，平板显示器(下文中称为“FPD”)已经显著的成长并取代了CRT(或阴极射线管)显示器。FPD有多种设备，例如，液晶显示器(LCD)，等离子显示板(PDP)或有机场致发光显示器(OLED)。FPD比CRT更轻更薄，因此适合应用于大尺寸的显示系统或便携显示系统。由于FPD的主要成分是由高温工艺形成的，大部分FPD用玻璃基板去承受制作工艺中所需要的高温。然而，由于玻璃基板具有刚硬的特性，其自由应用于柔性显示器件受到限制。最近，把柔性材料用于FPD以开发柔性显示器件，这种柔性显示器件具有如可以卷起或者折叠等优点以在任何条件下都可以自由的操作。也就是说，利用柔性材料如塑胶薄膜或金属箔，显示工业对这种即使像纸张一样被卷起或弯曲后仍具有相同的显示性能的柔性显示器件非常有兴趣。

柔性基板的抗热性能次于玻璃基板，因此，这些柔性基板在制造显示器件的工艺过程中很容易被施加的高温弄得变形，变形的基板不能保证在其上形成的显示器元件的质量，也就是说，不可能在柔性基板上直接形成显示器件。最近，为了克服上述问题，建议使用基板转录(substrate transcription)方法，该方法在玻璃基板上形成显示器件，在显示器件上粘结一个塑胶基板，然后去掉玻璃基板以完成柔性显示器。

图1A到1F是用基板转录方法制造柔性显示器的相关技术方法的图表。这里，用基板转录方法制造柔性显示器的相关技术方法包括：在玻璃基板1上形成绝缘保护层3；形成显示器件5；粘结临时基板7；去掉玻璃基板1和绝缘保护层3；粘结柔性基板9；以及，去掉临时基板7。

如图1A所示，在形成绝缘保护层3的步骤中，绝缘保护层3以预定的厚度设置在玻璃基板1上，以在制造工艺中的热有足够的热阻。

如图1B所示，在形成显示器件5的步骤中，配置显示器件的多种线路如薄膜晶体管阵列等在绝缘保护层3上形成。形成显示器件5这一步骤包括多个光刻工艺和蚀刻工艺。

如图1C所示，在粘结临时基板7的步骤中，临时基板7用粘合剂粘结在显示器件5上，临时基板7在随后的工艺中去掉玻璃基板1和绝缘保护层3后临时支撑显示器件5。

如图1D所示，在去掉玻璃基板1和绝缘保护层3的步骤中，玻璃基板1和绝缘保护层3用包括氟化氢(HF)的蚀刻剂去掉。

如图1E所示，在粘结柔性基板9的步骤中，柔性基板用粘合剂粘结在去掉了玻璃基板1和绝缘保护层3的显示器件的背面，其结果是，柔性基板9将是支撑显示器件5并为柔性显示器提供柔性的显示器的真实基板。

如图1F所示，在去掉临时基板7的步骤中，临时基板7被剥掉以完成具有显示器件5的最终基板，其中，显示器件5保留在柔性基板9上。

这样，由于利用基板转录方法制造柔性显示器的方法在显示器件5上粘结临时基板7，然后去掉玻璃基板1和绝缘保护层3，显示器5可以由临时基板7支撑。此外，玻璃基板1和绝缘保护层3被去掉，然后柔性基板9粘结在曝露的显示器件5的背面，剥掉粘结在显示器件5上的临时基板7。因此，用相关技术的基板转录方法的柔性显示器与相关技术显示器比较，除了支撑基板外可能具有相同的结构。因此，给薄膜晶体管阵列提供信号的焊盘部分的结构也与相关技术显示器相同。这里，焊盘部分可以连接柔性显示器的薄膜晶体管阵列。然而，用相关技术基板转录方法的制造柔性显示器的方法包括在显示器5上脱掉临时基板7的工艺，因此，存在的问题是在脱掉临时基板7的工艺中显示器件5会被损坏。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种适用于提高可靠性的柔性显示器件及其制造方法。

为了达到本发明的这些目的，依照本发明的制造柔性显示器的方法包括在玻璃基板的一侧形成绝缘保护层；在绝缘保护层上形成显示器件，该显示器件包括薄膜晶体管阵列和焊盘部分，其中焊盘部分连接到薄膜晶体管阵列；在显示器件上粘结柔性基板；和去掉玻璃基板。