[发明专利]一种硅材料粉末化学纯化的方法

权利要求书

1.一种硅材料粉末化学纯化的方法，其特征是方法步骤如下：

首先将工业级金属硅或石英矿二氧化硅粉碎至微米级；

将步骤1粉末用振荡器将超纯水雾化，再将粉末用气流喷至水雾中，将硅材料粉末完全 沾湿，振荡造雾机所产生之水雾跟强气流吹入之硅粉未充分沾湿；

用3HCL/1HNO3酸液常温清洗：

A、用工业级盐酸及硝酸经耐酸碱过滤器过滤掉杂质后，再按3份盐酸，1份硝酸之比例 配好；

B、将步骤2所述粉末置入酸槽30分钟，配好的3HCL/1HNO3液常温浸泡，同时利用气泡或 电机带搅拌器搅拌使之粉末与酸充分反应；

C、酸洗完毕排掉槽中酸液，改用超纯水清洗，监控水值的电阻率达1兆欧姆即排掉纯 水；

(4)用50∶1HF常温清洗

A、用工业级浓度49％之氢氟酸经耐酸碱过滤器过滤掉杂质，再按50份超纯水1份氢氟酸 比例配比；

B、将步骤3所得之粉末置入槽中，常温浸泡30分钟，同时用气泡或电机带搅拌器搅拌 ，使粉末与酸充分反应；

C、酸洗完毕，排掉槽中之酸液，改用超纯水清洗，监控水值的电阻率达1兆欧姆即可 排掉纯水；

D、将粉末置入离心甩干机中甩干；

E、将甩干的粉末置入烘箱，设定温度达100±3℃，底部吹入氮气，搅动粉末，使粉末 干燥。