[发明专利]高架行进和输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种高架行进和输送装置，用于如此抓持被输送物体，即该设备能够沿着被输送物体上下移动，并且用于沿着安装在工厂等中的天花板上或其附近的轨道行进。这里，“被输送物体”表示一种产品、中间产品、部件、物品、工件、部分制成品、商品等，或者表示用于容纳这种产品的盒子或者容器等，该盒子或者容器已经被或者将被该装置进行输送。

背景技术

例如在半导体器件的制造设备中，利用高架行进和输送装置。该装置设有输送台车。输送台车通过沿着安装在天花板上或其附近的轨道或者导轨行进而在不同的半导体制造装置之间行进，同时输送台车利用能够沿着FOUP(Front Opening Unified Pod：前端开启式晶圆传送盒)上下移动的把持器抓持或者把持在其中容纳半导体晶片的FOUP。半导体制造装置的主体置于轨道之下及其附近中，从而半导体制造装置的装载端口位于轨道正下方。因此，输送台车在半导体制造装置的装载端口上方停止，在其上装载或者放置从现在起将被输送的FOUP，然后沿着把持器向下移动从而把持FOUP，并且然后沿着把持器向上移动，从而输送台车能够回收或者占据FOUP。已经回收FOUP的输送台车行进到另一个半导体制造装置以用于执行下一过程。在另一方面，输送台车在半导体制造装置的装载端口的上方停止，并且然后沿着当前正在把持FOUP的把持器向下移动，从而输送台车能够将FOUP装载到装载端口上。

在上述高架行进和输送装置的输送台车中，沿着行进方向在前表面处装备向前监视传感器，它沿着行进方向向前发射光束并且接收其反射光，从而在沿着轨道行进时探测沿着行进方向在前面的障碍物，如日本专利申请公开文件No.2002-132347(特别是其图2)中所公开地。在另一方面，在输送台车中，装备向下监视传感器，其发射用于在输送台车之下扫描的光束并且接收其反射光，从而探测在输送台车之下的障碍物，如日本专利申请公开文件No.2001-213588(特别是其图1)中所公开地。由此，当从半导体制造装置的装载端口取起FOUP时，和/或当将FOUP装载到装载端口上时，可能防止把持器接触位于把持器的上下移动路径中的障碍物。

发明内容

如上所述，在高架行进和输送装置的输送台车中，要求装备很多传感器，例如用于探测沿着行进方向的前方障碍物的向前监视传感器，用于探测输送台车之下的障碍物的向下监视传感器等。因此，这产生一个问题，即输送台车的结构变得复杂，并且成本增加。

因此本发明的一个目的在于提供一种高架行进和输送装置，其能够以较低的成本探测沿着输送台车的行进方向的前方障碍物和位于输送台车之下的障碍物。

通过一种高架行进和输送系统能够实现本发明的上述目的，所述系统包括：安装在天花板上或其附近的轨道；用于沿着所述轨道行进并且由其引导的输送台车，所述输送台车具有(i)适于把持被输送物体的把持机构，(ii)适于将所述把持机构向下移动到用于被输送物体的装载端口的升降机构，以及(iii)传感器，其用于在垂直的并且平行于所述输送台车的行进方向的伪平面的表面中发射光束，并且用于接收所发射光束的反射光；监视器件，用于基于由所述传感器所接收到的反射光监视在所发射光束的发射方向中存在的障碍物；以及选择器件，用于通过选择发射方向和/或选择所述监视器件的监视区域而(i)建立一种状态，使得如果所述输送台车在行进中，则沿着行进方向存在的前方障碍物被所述监视器件监视，并且(ii)建立另一种状态，使得如果所述把持机构向下移动，则从所述输送台车向下存在的障碍物被所述监视器件监视。

根据本发明，选择器件以如下所述方式控制传感器。即，当输送台车行进时，沿着输送台车的行进方向向前发射光束。在把持机构向下移动时，从输送台车向下发射光束。在任一情形中，监视器件沿着发射方向进行监视。可替代地，传感器的光束总是沿着包括输送台车的向前行进方向和从输送台车向下的方向被发射(其中光束的发射方向可被连续地转变)。此时，选择器件控制监视器件以(i)当输送台车行进时，沿着光束的发射方向进行监视，该光束沿着输送台车的行进方向向前发射，并且(ii)当把持机构向下移动时，沿着光束的发射方向进行监视，该光束从输送台车向下发射。因此，通过仅仅一个传感器，当输送台车行进时，能够执行对可能沿着行进方向存在的前方障碍物的探测，并且当把持机构向下移动时，能够执行对从输送台车向下可能存在的障碍物的探测。因此，能够以低成本实现对沿着行进方向的前方障碍物的探测和从输送台车往下的障碍物的探测。