[发明专利]碱显影型的糊剂组合物有效
申请号: | 200710187257.2 | 申请日: | 2007-11-15 |
公开(公告)号: | CN101183219A | 公开(公告)日: | 2008-05-21 |
发明(设计)人: | 佐佐木正树;伊藤信人;有马圣夫 | 申请(专利权)人: | 太阳油墨制造株式会社 |
主分类号: | G03F7/029 | 分类号: | G03F7/029;G03F7/004 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显影 组合 | ||
1.一种碱显影型的糊剂组合物,其特征在于,其包含:(A)含羧基树脂、(B)玻璃粉、(C)无机粉末、(D)一分子中具有至少1个以上自由基聚合性不饱和基团的化合物、(E-1)下述通式(I)所示的肟酯系光聚合引发剂、以及(F)下述通式(II)所示的硫化合物,
式中,R1表示氢原子、碳原子数1~6的烷基、或苯基,R2表示氢原子、碳原子数1~6的烷基,
或
式中,R3表示烷基、芳基或取代芳基,R4表示氢原子或烷基,另外,R3和R4表示相互结合形成可以包含选自氧、硫和氮原子的杂原子的5元环到7元环所需要的非金属原子群。
2.根据权利要求1所述的碱显影型的糊剂组合物,其特征在于,所述肟酯系光聚合引发剂(E-1)为下述通式(III)所示的权利要求1所述的肟酯系光聚合引发剂,
式中,1个或2个R5如下述通式(I)所示,其中2个R5如通式(I)所示时,包括R5各自不同的情况;其余R5表示氢原子、甲基、苯基或卤原子,其中包括各R5各自不同的情况,
式中,R1表示氢原子、碳原子数1~6的烷基、或苯基,R2表示氢原子、碳原子数1~6的烷基。
3.根据权利要求1或2所述的碱显影型的糊剂组合物,其特征在于,所述含羧基树脂(A)进一步是(A-1)具有一个以上自由基聚合性不饱和基团的含羧基树脂。
4.根据权利要求1或2所述的碱显影型的糊剂组合物,其特征在于,还包含(E-2)下述通式(IV)所示的氧化膦系光聚合引发剂,
式中,R6、R7各自地独立表示碳原子数1~10的直链状或支链状的烷基、环己基、环戊基、芳基、或者被卤原子、烷基或烷氧基取代的芳基、或者任一方为碳原子数1~20的羰基。
5.根据权利要求4所述的碱显影型的糊剂组合物,其特征在于,所述通式(I)所示的肟酯系光聚合引发剂(E-1)的配合量比所述通式(IV)所示的氧化膦系光聚合引发剂(E-2)的配合量少。
6.根据权利要求1或2所述的碱显影型的糊剂组合物,其特征在于,还含有(G)硼酸。
7.根据权利要求1或2所述的碱显影型的糊剂组合物,其特征在于,还含有(H)下述通式(V)或通式(VI)所示的磷化合物。
8.根据权利要求1~7任一项所述的碱显影型的糊剂组合物,其特征在于,涂布干燥所述权利要求1~7任一项所述的组合物而得到的涂膜的每1μm膜厚的吸光度为0.1~0.8。
9.根据权利要求1或2所述的碱显影型的糊剂组合物,其特征在于,所述(C)无机粉末是黑色颜料(C-1)或银粉(C-2)。
10.根据权利要求1或2所述的碱显影型的糊剂组合物,其特征在于,所述通式(I)所示的肟酯系光聚合引发剂(E-1)的配合量为组合物总量的0.1~1.0质量%。
11.一种图案的形成方法,其特征在于,是使用了权利要求1~10任一项所述的组合物的图案的形成方法,其中,该方法包括:
(1)通过活性能量射线进行图案曝光的工序、
(2)通过以稀碱性水溶液显影而选择性地形成图案的工序、
(3)在400~600℃下烧成的工序。
12.根据权利要求11所述的图案的形成方法,其特征在于,所述活性能量射线为激光振荡光源或灯光源。
13.一种图案,其通过权利要求11或12所述的图案的形成方法而获得。
14.根据权利要求13所述的图案,其特征在于,所述图案为导电性图案。
15.根据权利要求13或14所述的图案,其特征在于,所述图案包含黑色矩阵图案。
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