[发明专利]感光性组合物

权利要求书

1.感光性组合物，其特征在于，其通过插入光掩模曝光产生紫外线的灯所发出的光的一次性曝光法、或者通过使用产生紫外线的灯所发出的光或激光的直接描绘法形成图案潜像，用碱性水溶液使该图案潜像显影化，其中，其曝光前的干燥涂膜每25μm厚度，在355～405nm的波长范围的吸光度的最大值与最小值之差在0.3以内。

2.根据权利要求1所述的感光性组合物，其特征在于，其曝光前的所述干燥涂膜每25μm厚度，在355～405nm的波长范围的吸光度全部在0.3～1.2的范围内。

3.根据权利要求1所述的感光性组合物，其特征在于，所述感光性组合物包含(A)含羧酸树脂、(B)光聚合引发剂以及(C)颜料。

4.根据权利要求3所述的感光性组合物，其特征在于，所述(B)光聚合引发剂为选自具有式(I)所示的基团的肟酯系光聚合引发剂、具有式(II)所示的基团的α-氨基苯乙酮系光聚合引发剂、以及具有式(III)所示的基团的酰基氧化膦系光聚合引发剂所组成的组中的1种以上光聚合引发剂，

式中，

R¹表示氢原子、苯基(可被碳原子数1～6的烷基、苯基、或者卤原子取代)、碳原子数1～20的烷基(可被1个以上羟基取代、可在烷基链中间具有1个以上氧原子)、碳原子数5～8的环烷基、碳原子数2～20的烷酰基或苯甲酰基(可被碳原子数1～6的烷基或苯基取代)，

R²表示苯基(可被碳原子数1～6的烷基、苯基、或者卤原子取代)、碳原子数1～20的烷基(可被1个以上羟基取代、可在烷基链中间具有1个以上氧原子)、碳原子数5～8的环烷基、碳原子数2～20的烷酰基或苯甲酰基(可被碳原子数1～6的烷基或苯基取代，

R³和R⁴各自独立表示碳原子数1～12的烷基或芳烷基，

R⁵和R⁶各自独立表示氢原子、碳原子数1～6的烷基、或者两者结合而成的环状烷醚基，

R⁷和R⁸可各自独立表示碳原子数1～10的直链状或支链状的烷基、环己基、环戊基、芳基、或者被卤原子、烷基或烷氧基取代的芳基，其中，R⁷和R⁸的一个为R-C(＝O)-基团(这里，R为碳原子数1～20的烃基)。

5.根据权利要求4所述的感光性组合物，其特征在于，所述具有式(I)所示的基团的肟酯系光聚合引发剂包括式(IV)的化合物。

6.根据权利要求4所述的感光性组合物，其特征在于，所述具有式(I)所示的基团的肟酯系光聚合引发剂包括式(V)的化合物，

式中，

R⁹表示氢原子、卤原子、碳原子数1～12的烷基、环戊基、环己基、苯基、苄基、苯甲酰基、碳原子数2～12的烷酰基、碳原子数2～12的烷氧羰基(构成烷氧基的烷基的碳原子数为2以上时，烷基可被1个以上羟基取代，可在烷基链中间具有1个以上氧原子)、或者苯氧羰基，

R¹⁰、R¹²各自独立表示苯基(可被碳原子数1～6的烷基、苯基、或者卤原子取代)、碳原子数1～20的烷基(可被1个以上羟基取代、可在烷基链中间具有1个以上氧原子)、碳原子数5～8的环烷基、碳原子数2～20的烷酰基或苯甲酰基(可被碳原子数1～6的烷基或苯基取代)，

R¹¹表示氢原子、苯基(可被碳原子数1～6的烷基、苯基、或者卤原子取代)、碳原子数1～20的烷基(可被1个以上羟基取代、可在烷基链中间具有1个以上氧原子)、碳原子数5～8的环烷基、碳原子数2～20的烷酰基或苯甲酰基(可被碳原子数1～6的烷基或苯基取代)。

7.根据权利要求3所述的感光性组合物，其特征在于，所述颜料(C)包括酞菁蓝系颜料。

8.根据权利要求3所述的感光性组合物，其特征在于，还包含在分子中具有2个以上环状醚基和/或环状硫醚基的热固化性成分(D)。