[发明专利]喷嘴板、喷嘴板的制造方法、液滴喷出头及液滴喷出装置

权利要求书

1.一种喷嘴板，其特征在于，包括：

第1硅层；

玻璃层；

设置在所述第1硅层与所述玻璃层之间、并与所述玻璃层接合的第2硅层；以及

设置在所述第1硅层与所述第2硅层之间的氧化硅层，

该喷嘴板形成有：

贯通所述第1硅层并喷出液滴的喷嘴孔；

贯通所述氧化硅层及所述第2硅层、并与所述喷嘴孔连通的流路；以及

形成在所述玻璃层上并与所述流路连通的液室。

2.根据权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，

所述流路的开口直径大于所述喷嘴孔的开口直径，

所述液室的开口直径大于所述流路的开口直径。

3.根据权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，

还包括：在所述玻璃层的与所述第2硅层相反一侧与所述玻璃层相接触地被设置、并由与所述玻璃层不同的材料形成的液室层，

所述液室在所述液室层上延伸而成。

4.根据权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，

在所述喷嘴孔的内壁面上形成有包覆膜，该包覆膜由相对于从所述喷嘴孔喷出的液体的亲和性高于硅的材料组成。

5.根据权利要求4所述的喷嘴板，其特征在于，

所述包覆膜由氧化硅组成。

6.根据权利要求4所述的喷嘴板，其特征在于，

在所述第1硅层的外侧表面上设置有防水层，该防水层由相对于从所述喷嘴孔喷出的液体的亲和性低于所述包覆膜的材料组成。

7.根据权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，

所述喷嘴孔的出口侧的开口直径与入口侧的开口直径相等或在其之下。

8.根据权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，所述接合是阳极接合。

9.根据权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，所述流路具有朝向所述喷嘴孔收敛的开口形状。

10.根据权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，

还包括：在与所述玻璃层的所述第2硅层相反一侧与所述玻璃层接合、并由与玻璃不同的材料组成的液室层，

所述液室在所述液室层上延伸而成。

11.根据权利要求10所述的喷嘴板，其特征在于，

在所述液室层的面对所述液室的壁面上，设置有由与所述液室层不同的材料组成的包覆层。

12.一种喷嘴板，其特征在于，包括：

硅层；以及

与所述硅层接合的玻璃层，

该喷嘴板形成有：

贯通所述硅层并喷出液滴的喷嘴孔；以及

形成在所述玻璃层上并与所述喷嘴孔连通的液室，

在所述喷嘴孔的内壁面上形成有包覆膜，该包覆膜由相对于从所述喷嘴孔喷出的液体的亲和性高于硅的材料组成。

13.根据权利要求12所述的喷嘴板，其特征在于，

所述包覆膜由氧化硅组成。

14.根据权利要求12所述的喷嘴板，其特征在于，

所述接合是阳极接合。

15.根据权利要求12所述的喷嘴板，其特征在于，

与所述玻璃层接近一侧的所述喷嘴孔的开口端的开口直径与远离所述玻璃层一侧的所述喷嘴孔的开口端的开口直径相同或在其之上。

16.根据权利要求12所述的喷嘴板，其特征在于，

在所述第1硅层的外侧表面上设置有防水层，该防水层由相对于从所述喷嘴孔喷出的液体的亲和性低于所述包覆膜的材料组成。

17.一种喷嘴板的制造方法，其特征在于，

形成喷嘴孔，该喷嘴孔贯通具有第1硅层、第2硅层及设置在所述第1硅层与所述第2硅层之间的氧化硅层的层叠体的所述第1硅层；

形成贯通所述第2硅层的流路；

通过除去暴露在所述流路的底部的所述氧化硅层，使所述喷嘴孔与所述流路连通；

将形成有液室的玻璃层与所述第2硅层进行阳极接合，从而使所述流路与所述液室连通。

18.根据权利要求17所述的喷嘴板的制造方法，其特征在于，

在所述喷嘴孔的内壁上形成氧化硅。