[发明专利]铝镓氮－锆钛酸铅焦平面探测器

权利要求书

1.一种AlGaN-PZT焦平面探测器，包括：蓝宝石衬底(1)，其特征在于：

在蓝宝石衬底(1)上依次置有AlGaN NIP型紫外列阵探测器和PZT铁电复合薄膜红外列阵探测器；在紫外列阵探测器和PZT铁电复合薄膜列阵探测器之间置有防止串音的多孔SiO₂隔热层(7)。

2.根据权利要求1的一种AlGaN-PZT焦平面探测器，其特征在于：所说的AlGaN紫外列阵探测器包括：依次排列外延生长在蓝宝石衬底(1)的AlN缓冲层(2)、N型Al_xGa_1-xN层(3)、i型Al_xGa_1-xN层(4)和P型Al_xGa_1-xN层(5)，在外延层上通过刻蚀形成AlGaN光敏元列阵；在N型Al_xGa_1-xN层(3)上置有公共电极(12)，在P型Al_xGa_1-xN层(5)上置有P电极(11)，侧面和正面裸露的AlGaN光敏元列阵上置有SiO₂钝化层(6)。

3.根据权利要求1的一种AlGaN-PZT焦平面探测器，其特征在于：所说的PZT列阵探测器由置在多孔SiO₂隔热层(7)上的通过溶胶-凝胶法依次排列生长的LaNiO₃层(8)、PZT层(9)组成；LaNiO₃层(8)作为下电极层，PZT层(9)上置有上电极(10)。

4.根据权利要求1的一种AlGaN-PZT焦平面探测器，其特征在于：所说的紫外探测器的探测波长与AlGaN的组份有关，短波截止波长由N型Al_xGa_1-xN层(3)的组分x决定，长波截止波长由P型Al_yGa_1-yN层(5)的组分y决定。