[发明专利]一种锌基多元合金耐腐蚀防护膜的制备方法无效

专利信息
申请号: 200710171145.8 申请日: 2007-11-28
公开(公告)号: CN101168835A 公开(公告)日: 2008-04-30
发明(设计)人: 刘庆峰;刘茜;霍伟亮 申请(专利权)人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
主分类号: C23C14/16 分类号: C23C14/16;C23C14/22;C23C14/34;C23C14/58
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地址: 20005*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 基多 合金 腐蚀 防护 制备 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种锌基多元合金耐腐蚀膜的制备方法,具体地说是采用物理气相沉积制备锌基耐腐蚀合金膜的方法,属于防护材料领域。

背景技术

随着金属材料在各个领域的广泛应用,由金属材料的腐蚀而引起的经济损失越来越明显,在需保护基体表面形成耐腐蚀膜是防护腐蚀的主要途径之一。多元合金膜不仅同时兼顾不同合金成分材料的优点,而且能够大幅度提高膜层的耐腐蚀性能,因而可以适应更广泛的应用环境,其中锌基合金镀层是目前应用最为广泛的材料体系。

耐腐蚀合金膜的传统制备方法主要为电镀和热镀技术,但前者有其电镀废液难处理、镀层致密度低以及低电位金属难以沉积等不足之处;而后者则存在镀层厚度控制困难、可镀合金体系有限的缺点,限制了他们的应用。与传统方法相比,物理气相沉积制备技术虽然在生产成本上略高,但由于其镀层致密、附着力好、应用材料广泛等特点,在许多对耐腐蚀合金膜的性能要求较高的领域仍然得到了广泛研究和应用。物理气相沉积技术是指在真空条件下用物理的方法将材料汽化成气相,并在待处理部件表面沉积一层具有某些特殊性能的膜层。目前国内外应用的多元合金膜的物理气相沉积工艺主要有两类:1采用同目标合金膜相同成分的单一合金源;2采用多个源同时进行沉积。

前者所用的合金源必须首先通过传统的合金冶炼工艺来合成粉体/靶材,这对合金的制备工艺和设备都提出了很高要求,同时由于受到不同组元的物理性质不同(熔点、溅射产率等),在物理气相沉积的过程中,个别元素的含量会随着沉积的方法和沉积的条件等变化而导致膜材料的化学组成与源材料出现差别,难以保证合金膜的质量。后者虽然能够从技术上避免了多元合金冶炼的制备过程,提高了可沉积的合金材料范围,但是由于多源同时工作时在空间位置上有所不同,会在待处理部件表面不同区域的沉积量上产生差别,导致部件表面的合金膜的成分随位置不同而变化,大大降低了合金膜的质量,限制了可沉积部件的尺寸。

发明目的

为了克服现有物理气相沉积技术在制备耐腐蚀多元合金膜方面遇到的困难和原有技术的缺点和不足,本发明的目的在于提供一种沉积与合金化冶炼分离的方法,来合成锌基多元合金膜。

在基体材料上采用常规的物理气相沉积方法顺序沉积不同厚度的金属膜层,形成多层膜夹心结构,膜层厚度比值由合金成分决定,经过后期热处理过程形成具有纳米尺度晶粒、致密的均匀合金膜层。采用本发明的制备方法,制备的合金膜的晶粒可以通过单层膜层厚度控制,范围在0.01~1微米,从而改善膜层的耐腐蚀性能。

本发明的目的是通过以下措施实现的:

选用单一金属元素(包括Zn、Al、Mg、Ni、Co、Ti、Si、Fe、Sn、Mn和稀土金属等)或二、三元元素的合金(包括Zn、Al、Mg、Ni、Co、Ti、Si、Fe、Sn、Mn和稀土金属等的二、三元合金)作为原料,,其中Zn为必需的元素,其组成范围在所选元素的5%~95%(重量百分比)。

按照(ABC..)1(ABC..)2….(ABC..)n(ABC..分别代表不同金属或合金成分,其中一个代表Zn元素,n为重复周期数,2≤n≤20)顺序在待处理部件表面制备多层夹心结构膜层。

每层金属膜层或组元合金的厚度可以在1nm~500nm之间,不同金属膜层或组元合金的厚度比值由所需的最终合金材料成分确定。

在真空或保护性气氛(氮气、惰性气体或氢气)条件下进行后续热处理工艺,包括两种路线:

一、两步热处理法:低温扩散和高温合金化。其中低温扩散的温度范围为200~350℃,时间为4小时~120小时,高温合金化温度范围为300~500℃,处理时间为30秒~4小时;

二、一步热处理法:温度范围为350~650℃,处理时间为30秒~4小时。

制备的合金膜的晶粒可以通过单层膜层厚度控制,范围在0.01~10微米。晶粒细小能够提高合金膜的耐腐蚀性能。

采用该方法制备的Zn基多元合金膜层在3%氯化钠溶液中进行电化学方法测试,具有很好的耐腐蚀性能。

附图说明

图1为Zn-Al多层膜结构的横截面照片,不同亮度的层分别为两种金属。

图2为最终形成的Zn-Al合金膜的横截面照片

图3为Zn-Al合金膜表层的形貌图。

具体实施方式

下面的实例是为了进一步更具体阐明本发明工艺过程的特点和优势。

实施例1

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