[发明专利]一种锌基多元合金耐腐蚀防护膜的制备方法无效
申请号: | 200710171145.8 | 申请日: | 2007-11-28 |
公开(公告)号: | CN101168835A | 公开(公告)日: | 2008-04-30 |
发明(设计)人: | 刘庆峰;刘茜;霍伟亮 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;C23C14/22;C23C14/34;C23C14/58 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 20005*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基多 合金 腐蚀 防护 制备 方法 | ||
1.一种锌基多元合金耐腐蚀防护膜的制备方法,包括下述步骤:
(1)选用单一金属元素或二、三元元素的合金作为原料,,其中Zn为必需的元素,其组成范围在所选元素的5wt%~95wt%;
(2)按(ABC..)1(ABC..)2….(ABC..)n顺序在待处理部件表面使用物理气相沉积方法制备多层膜层,其中ABC..分别代表不同金属或合金成分,其中一个代表Zn元素,n为重复周期数,2≤n≤20;
(3)在真空或保护性气氛条件下进行后续热处理工艺。
2.按权利要求1所述的一种锌基多元合金耐腐蚀防护膜的制备方法,其特征在于所述的元素包括Zn、Al、Mg、Ni、Co、Ti、Si、Fe、Sn、Mn和稀土金属。
3.按权利要求1或2所述的一种锌基多元合金耐腐蚀防护膜的制备方法,其特征在于所述的多层膜层每层厚度在1nm~500nm之间。
4.按权利要求1或2所述的一种锌基多元合金耐腐蚀防护膜的制备方法,其特征在于所述的热处理工艺为低温扩散和高温合金化,其中低温扩散的温度范围为200~350℃,时间为4小时~120小时,高温合金化温度范围为300~500℃,处理时间为30秒~4小时。
5.按权利要求1或2所述的一种锌基多元合金耐腐蚀防护膜的制备方法,其特征在于所述的热处理工艺一步热处理法,温度范围为350~650℃,处理时间为30秒~4小时。
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