[发明专利]基板粘合装置以及基板粘合方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板粘合装置和基板粘合方法，详细地说，是适合于在将液晶显示装置(Liquid Crystal Dispray：LCD)等的2张基板制成粘合着的基板(板/パネル)时使用的基板粘合装置和基板粘合方法。

近年来，LCD等平面显示板，随着在大型化、重量轻(薄型化)方面的进展，低成本化的要求进一步提高了。因此，要求粘合2张基板、制造显示板的装置能提高成品率、提高生产率。

背景技术

液晶显示板以极其狭小的间隔(数μm左右)对峙设置将多个TFT(薄膜晶体管)制成基质(マトリクス)状的阵列基板、和形成有颜色滤光片(红、绿、兰)和遮光膜等的颜色滤光片(CF)基板，将液晶密封在这2张玻璃基板之间制成。为了获得对比度，以及为了遮盖(遮光)TFT、防止产生光漏(光リ一ク)电流而使用遮光膜。用含有热硬化树脂的密封材料(粘接剂)粘合阵列基板和CF基板。

在该液晶显示板的制造工序中，将液晶密封在对峙的玻璃基板之间的液晶密封工序一般采用滴下注入法，即，将规定量的液晶滴在基板的周围制成框状的密封材料的框内的基板面上，在真空中粘合阵列基板和CF基板，以密封液晶。

以往，粘合2张基板(CF基板和阵列基板)，使用加压装置(粘合装置)由基板加压工序来进行粘合。该粘合装置具备在处理室内相互对峙、上下配置的、分别保持CF基板和阵列基板的2张保持板，通过精密地保持两保持板的平面度和上下之间的平行度，同时在使基板之间的厚度方向的间隔始终保持均匀的状态下，使两基板接近，由此进行粘合。例如在专利文献1中分开了与这样的粘合装置有关的现有技术。

专利文献1

日本专利公报特开2002-323694号

但是，上述那样的现有的粘合装置存在的问题是，为了减小在使处理室内为真空时由于与外部(大气压)的压差而产生的保持板的变形，受到压差的影响的部位需要有很高的刚性，因此，装置的重量增加了，或装置体积增大了等。

近年来，随着基板的大型化、薄型化，在加工阶段使保持板单体的平面度确保有一定的精度是很困难的，难以高精度地保持两基板的平行度。因此，在粘合大型和薄型的基板时，特别容易产生粘合时的错位和基板间隔不均匀现象。

这样的基板错位和基板间隔不均匀，是来自遮光部的漏光和显示不均匀等显示不良现象的原因，难以制成稳定的产品，是成品率降低的主要原因。

发明内容

本发明是为解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种能高精度且容易进行基板粘合的基板粘合装置和基板粘合方法。

为了达到上述目的，根据本发明的第一、二、九方面，粘合分别保持在配置于处理室内的相互对峙的第1和第2保持板上的2张基板的基板粘合装置，具备：检测作用在上述2张基板上的载荷的多个载荷检测机构；与上述多个载荷检测机构对应设置的、使其产生粘合上述2张基板的加工压力的多个加压机构，能根据由上述多个载荷检测机构分别检测的载荷变化、分别调整由上述多个加压机构产生的加工压力。根据该结构，能使第1保持板和第2保持板、即，使第1基板和第2基板的平行度保持均匀，而且能高精度地进行粘合。其结果是，能防止基板错位和基板间隔不均匀，能减少显示不良现象。

根据本发明的第二方面，分别将第1基板和第2基板保持在配置于处理室内的相互对峙的第1保持板和第2保持板上、使上述第1保持板靠近上述第2保持板，粘合上述第1基板和上述第2基板的基板粘合装置，具备根据作用在上述第1保持板上的载荷的分布矫正粘合上述第1和第2基板的加工压力的多个加压矫正机构。根据该结构，能使第1保持板和第2保持板、即，使第1基板和第2基板的平行度保持均匀，而且能高精度地进行粘合。其结果是，能防止基板错位和基板间隔不均匀，能减少显示不良现象。

根据本发明的第三方面，上述加压矫正机构具备载荷检测机构和加压机构。载荷检测机构检测作用在上述第1保持板上的载荷。而且，加压机构根据由上述载荷检测机构检测的载荷变化产生上述加工压力。

根据本发明的第四方面，具备依据上述各载荷检测机构的输出，计算作用在上述第1保持板上的载荷总和，根据该计算的载荷总和的减少部分确定由上述各加压机构产生的加工压力的控制部。

根据本发明的第五方面，上述控制部，计算上述载荷总和的减少部分的平均值，根据该平均值和由上述各载荷检测机构检测的载荷的减少部分的差，确定由上述各加压机构产生的加工压力。因此，能使载荷分布保持均匀地进行粘合。