[发明专利]基板粘合装置以及基板粘合方法

权利要求书

1.一种粘合分别保持在配置于可以减压的处理室内的相互对峙的第1和第2保持板上的2张基板的基板粘合方法，其特征是：

在上述可以减压的处理室外的多处，检测作用在上述第1保持板上的载荷，

根据检测的载荷变化，矫正粘合上述2张基板的加工压力。

2.一种粘合分别保持在配置于可以减压的处理室内的相互对峙的第1和第2保持板上的2张基板的基板粘合方法，其特征是：

在上述可以减压的处理室外的多处，检测作用在上述第1保持板上的载荷，

根据检测的载荷变化，矫正上述第1和第2保持板中的至少一个保持板的相对水平面的倾角。

3.根据权利要求1所述的基板粘合方法，其特征是：

根据上述多处，矫正粘合上述2张基板的上述加工压力。

4.根据权利要求2所述的基板粘合方法，其特征是：

根据上述多处，矫正上述第1和第2保持板中的至少一个保持板的相对水平面的倾角。

5.根据权利要求3所述的基板粘合方法，其特征是：

根据作用于上述第1保持板上的载荷的总和及其减少的载荷值，算出粘合上述2张基板的上述加工压力。

6.根据权利要求1或2所述的基板粘合方法，其特征是：

根据计算的上述载荷的分布，而驱动用于驱动上述第1保持板的多个加压机构。