[发明专利]用以成形非晶硅膜的连续腔室

说明书

技术领域

本发明是与非晶硅膜的成形装置有关，特别是指一种用以成形非晶硅膜的连续腔室。

背景技术

按，近来由于能源短缺以及油价高涨的问题，使得替代能源受到广泛注意，而替代能源技术之中，利用太阳能来产生电能的太阳能电池，即因为其具有高环保性的特质，而引起广泛的注意并吸引了庞大的研发资源。

目前主流的非晶硅薄膜太阳能电池，其制造过程中的非晶硅薄膜是为关键，目前普遍的制造方式，是由等离子体辅助化学气相沉积法(Plasma-EnhanceChemical Vapor Deposition，PECVD)来制造成形的。而非晶硅薄膜主要是由p-a-Si:H、i-a-Si:H、以及n-a-Si:H(即p-i-n)三层物质所沉积而成。

现今的p-i-n薄膜，在成形的技术上，主要是将待沉积物(例如玻璃板)水平设置于一腔体内，再于该腔体内依序成形出p层、i层、及n层薄膜，完成后再向外移出该待沉积物。而此种成形方式，由于三层都是在同一腔体内成形，因此在变换沉积层的过程中，必须将该腔体内的原气体抽出，再注入对应沉积层的气体，并控制好浓度后，才能开始下一次的气相沉积。此种方式造成制程上的等待，薄膜成形的时间拉长，不利于快速生产。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种用以成形非晶硅膜的连续腔室，其各型的非晶硅薄膜是分开进行，可由此提高生产速度。

本发明的次一目的在于提供一种用以成形非晶硅膜的连续腔室，其其可一次多片在连续的腔室内连续成形。

缘是，为了达成前述目的，依据本发明所提供的一种用以成形非晶硅膜的连续腔室，其特征在于，包含有：

多数腔室，线性排列且相连接而使内部空间相连通，每相邻的二该腔室之间设有一活动门，而可由该活动门的开启/关闭来使相邻的二该腔室相通/隔离；

该多数腔室中，是定义位于头端的腔室为入料室，位于尾端的腔室为出料室，且位于该入料室与该出料室之间的腔室定义出至少一p层成形室、至少一i层成形室、以及至少一n层成形室；

该入料室的入口以及该出料室的出口均具有一活动门。

其中：该多数腔室中各具有一运输装置；以及还包含有一卡匣，该卡匣内设有多数待成膜料片，该多数待成膜料片呈直立状，该多数运输装置承载该卡匣并驱使该卡匣于该多数腔室内移动。

其中：各该p层成形室、i层成形室、以及n层成形室的顶壁设有一导气装置；该卡匣顶端设有一入气口，该卡匣位于各该p层成形室、i层成形室、以及n层成形室时，其所对应的腔室的导气装置是位于该卡匣上方，且与该入气口连接。

其中：各该导气装置具有一升降气嘴，而以该升降气嘴在下降时与该卡匣的入气口连接。

其中：该多数腔室的排列顺序为：入料室、p层成形室、i层成形室、n层成形室、以及出料室。

其中：该多数腔室的排列顺序为：入料室、p层成形室、二以上的i层成形室、n层成形室、以及出料室。

其中：该多数腔室的排列顺序为：入料室、p层成形室、i层成形室、n层成形室、p层成形室、i层成形室、n层成形室、以及出料室。

由此可达到连续成形且提高生产速度的功效。

附图说明

为了详细说明本发明的技术特点所在，以下列举三较佳实施例并配合附图说明如后，其中：

图1是本发明第一较佳实施例的架构示意图。

图2是本发明第一较佳实施例的局部构件示意图，显示导气装置与卡匣之间的状态。

图3是本发明第一较佳实施例的局部构件俯视示意图，显示一腔室内的运输装置以及活动门的状态。

图4是本发明第一较佳实施例的动作示意图，显示升降气嘴与卡匣的入气口连接的状态。

图5是本发明第二较佳实施例的架构示意图。

图6是本发明第三较佳实施例的架构示意图。

具体实施方式

如图1至图3所示，本发明第一较佳实施例所提供的一种用以成形非晶硅膜的连续腔室10，主要具有：

多数腔室11，是线性排列且相连接而使内部空间相连通，每相邻的二该腔室11之间设有二活动门13，而可由该多数活动门13的开启/关闭来使相邻的二该腔室11相通/隔离。