[发明专利]非接触式运送装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种非接触式的运送装置，其能利用压力流体、在非接触的状态下保持并运送工件。

背景技术

迄今为止，已知的是：非接触式的运送装置被用来解决运送半导体晶片的问题，这种装置能利用由气体流动所产生的伯努利(Bernoulli)效应、按照非接触的方式运送被制成薄片状部件的工件，其中，这样的部件可制成液晶显示装置和等离子体显示装置。

例如在第2002-64130号日本专利公报中就公开了这样的非接触式运送装置，该装置具有凹槽，其中，该凹槽的内周表面为圆筒形，且凹槽面对着工件的开口侧形成了平坦表面，并制有流体通道，其用于将输送来的流体从面对着凹槽内周表面的射流孔喷射到凹槽的内部。此外，通过借助于从流体引入端口供给的空气使气流在平坦表面与工件之间高速流动，可利用伯努利效应产生负压，并将工件抬起，由此可利用在平坦表面与工件之间流动的正压空气流运送工件，同时可保持平坦表面与工件之间的非接触状态。

另外，在这种类型的非接触式运送装置中，空气的供给量(输送压力)是恒定的，且要运送不同重量和尺寸的工件。因而，希望能获得如下的设计：通过增大支持着工件的作用力，能保持并运送更大、更重的工件。与此同时，还希望能稳定地保持并运送薄的轻质工件。更具体来讲，希望能研制出这样的非接触式运送装置：其能保持并运送更多类型的工件，同时，针对于固定的空气供给量(压力)，能增大对工件进行保持的数值范围。

发明内容

本发明总的目的是提供一种非接触式的运送装置，其能可靠而稳定地保持并运送工件，同时，相对于空气的供给量，其增大了对该工件进行保持的数值范围。

附图说明

从下文结合附图所作的描述，可更加清楚地认识到上述目的以及本发明的其它目的、特征、以及优点，在附图中，示例性地表示了本发明的优选实施方式。

图1是根据本发明第一实施方式的非接触式运送装置的总体透视图；

图2是图1所示非接触式运送装置的分解透视图；

图3是从不同的视角对图2所示的非接触式运送装置所作的分解透视图；

图4是图1所示非接触式运送装置的垂向剖视图；

图5中放大的剖视图表示了图4所示非接触式运送装置中环形凹槽的附近部位；

图6是沿图4中的VI-VI线所作的剖视图；

图7中的图线是特性曲线图，其表示的是对于图1所示非接触式运送装置的涡流室构造、可保持着工件的作用力与间隙之间的关系，其中的间隙是指工件与支持表面之间的距离；以及

图8中的图线是特性曲线图，其表示的是对于图1所示非接触式运送装置中设置有凸出部分和未设置凸出部分的情况、可保持着工件的作用力与间隙之间的关系，其中的间隙是指工件与支持表面之间的距离。

具体实施方式

图1中的附图标记1指代根据本发明一种实施方式的非接触式运送装置。

如图1到图4所示，该非接触式运送装置10包括：壳体(主体)12，其横截面被制成基本上为U形；以及内部构件(主体)14，其被安装到壳体12中，其中，通过利用多个连接螺栓16将壳体12与内部构件14相互连接起来，形成了盘形的结构。

壳体12的大体中心位置处制有孔18，内部构件14的一部分插入到该孔中，且壳体12包括位于其外周部的环形凸缘20，其沿垂直方向延伸向内部构件14。在凸缘20的内周侧设置有与孔18连通的空间22。凸缘20被制成基本上平行于壳体12的轴线。

孔18的直径基本上是恒定的。在孔18的外周侧设置了多个螺栓孔24，连接螺栓16从这些螺栓孔中穿插过，在螺栓孔24的径向外侧，还设置了多个安装孔26。多个螺栓孔24和多个安装孔26被分别布置在相等的直径位置上，且等间距地分隔开，并都以孔18为中心。例如当非接触式运送装置10与机械手等设备进行连接时，就要用到安装孔26。

此外，在壳体12面对着内部构件14的内壁面上，利用位于螺栓孔24与安装孔26之间的环形沟槽安装了第一密封构件28，且类似地，利用位于凸缘20下端面上的环形沟槽安装了第二密封构件30。当壳体12与内部构件14被连接起来时，第一、第二密封构件28、30可防止在壳体12与内部构件14之间流动的空气泄漏到外部。

凸缘20外周表面的直径被制成基本上是恒定的，而凸缘20的内周表面32则包括台阶部分34，在朝向壳体12下端面的方向上，该台阶部分34以阶梯的形式扩大了直径。