[发明专利]非接触式运送装置

权利要求书

1.一种非接触式运送装置，其包括：

主体(12、14)；

形成在所述主体(12、14)内部的通道(48)，从空气供给部分(46)供给的空气流经该通道；

支持表面(40)，其被布置在所述主体(12、14)的端部上，以便于面对工件(W)；

环形的涡流室(68)，其被布置在所述支持表面(40)的径向内侧，并具有面向所述工件(W)的开口，且具有第一斜面(60)，在朝向所述工件(W)的方向上，该斜面的直径逐渐增大；

与所述涡流室(68)的所述第一斜面(60)相连接的引出孔(64)，其在所述涡流室(68)与所述通道(48)之间连通，用于将所述空气向外引流到所述涡流室(68)中；以及

向外凸出的凸起(54)，其大体上设置在所述涡流室(68)的中心处，在朝向所述工件(W)的方向上，所述凸起(54)的直径逐渐缩小。

2.根据权利要求1所述的非接触式运送装置，其特征在于，所述引出孔(64)与所述涡流室(68)切向地相连。

3.根据权利要求2所述的非接触式运送装置，其特征在于：所述凸起(54)与所述工件(W)之间的间隙(C1)被设定为大于所述支持表面(40)与所述工件(W)之间的间隙(C2)。

4.根据权利要求2所述的非接触式运送装置，其特征在于，所述第一斜面(60)相对于所述涡流室(68)的壁面(58)的斜角(θ2)被设定为大于或等于30°，且小于90°(30°≤θ2＜90°)，其中，壁面(58)限定了所述第一斜面(60)的起始位置点。

5.根据权利要求4所述的非接触式运送装置，其特征在于，在所述凸起(54)的外周部分上形成了第二斜面(56)，且所述第二斜面(56)相对于所述涡流室(68)的所述壁面(58)的斜角(θ1)被设定为大于或等于30°，且小于90°(30°≤θ1＜90°)，其中，壁面(58)限定了所述第二斜面(56)的起始位置点。

6.根据权利要求4所述的非接触式运送装置，其特征在于，所述第一斜面(60)的所述斜角(θ2)被设定为60°。

7.根据权利要求5所述的非接触式运送装置，其特征在于，所述第二斜面(56)的所述斜角(θ1)被设定为60°。

8.根据权利要求5所述的非接触式运送装置，其特征在于，所述主体(14)包括第三斜面(66)，在朝向所述工件(W)的方向上，其直径逐渐增大，且该斜面被布置在所述支持表面(40)的径向内侧，所述第三斜面(66)被布置在所述支持表面(40)的相对于所述第一斜面(60)的一侧，且所述第三斜面(66)相对于所述涡流室(68)的壁面(58)的斜角(θ3)小于所述第一斜面(60)的所述斜角(θ2)。

9.根据权利要求1所述的非接触式运送装置，其特征在于，所述通道(48)的内壁面形成有台阶部分，在朝向所述支持表面(40)的方向上，该台阶部分的直径以阶梯的形式增大。