[发明专利]气体激光装置、和鼓风机的监视方法以及监视装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种使用气体状态激光介质的气体激光装置。本发明还涉及对可装备在气体激光装置的鼓风机的维护状态进行监视的方法以及装置。

背景技术

使用气体状态激光介质的气体激光装置，在加工、医疗、计测等领域中被广泛应用。气体激光装置的激光振荡部的一般结构为具有：激励部(基于放电、光、热、化学反应等)，其对作为激光介质的流动气体(在本申请中，称为介质气体)进行激励；光共振部(具有一对镜(mirror))，其放大由激励部激励的介质气体的光能量生成激光束；和鼓风机，其在含有激励部以及光共振部的介质回路内强制循环介质气体。

装备在气体激光装置上的介质气体循环用的鼓风机，在气体激光装置给予的尺寸制约下，为了使生成的激光束的特性(或者品质)提高，需要能实现大容量以及高速旋转。而且这种鼓风机因为在生成激光束时被曝露于高温下，所以特别是关于提供给叶轮轴承部的润滑油，会成为容易产生其品质恶化的条件。因此，需要定期地更换(即更新)内置于鼓风机的润滑油，但是在通过人工来进行这样的维护检修时期的管理时，担心会产生忽略了检修时期等人为失误。为了解决这样的课题，例如，如在专利第2622424号公报(JP-2622424-B2)中所记载的那样，提出了可自动管理维护检修时期的气体激光装置。

在JP-2622424-B2中记载的气体激光装置具有：维护时期监视装置，其通过监视维护对象物的动作时间，对有关更换鼓风机的润滑油等各种维护项目的维护检修时期进行自动管理。该维护时期监视装置的结构为具有如下的单元：时间计测单元，其对维护对象物(例如鼓风机)的动作时间进行计测；时限警报单元，其在计测的动作时间到达了预定时间时输出警报信号；维护时期显示控制单元，其根据警报信号的输出将维护时期(例如润滑油更换时期)的到来显示到显示装置中；和复位单元，其根据表示进行了维护作业(例如润滑油的更换)的信号来复位时间计测单元的时间计测，并且取消维护时期显示控制单元的显示命令。这里，例如作为表示更换了鼓风机的润滑油的信号，将安装到鼓风机的给油口盖(cap)上的限位开关检测到盖的开闭的信号给予复位单元。

在JP-2622424-B2中记载的气体激光装置的维护时期监视装置，作为表示更换了鼓风机的润滑油的信号，采用由安装到鼓风机的给油口盖上的限位开关发出的盖开闭检测信号。但是鼓风机的润滑油的更换，为了确保安全一般在切断了气体激光装置电源的状态下进行。这里，维护时期监视装置装入对气体激光装置中的介质气体的激励以及共振动作进行控制的控制部，所以在切断了气体激光装置电源的状态下，难以通过预定信号来判断是否更换了鼓风机的润滑油。这一点在JP-2622424-B2中示教了如下的方法：例如通过键盘操作，以手工作业来输入表示更换了鼓风机的润滑油的信号。根据上述方法，在完成润滑油的更换再次接入气体激光装置的电源后，工作人员通过键盘操作输入润滑油更换完成信号，因此维护时期监视单元的复位单元进行如下的动作：复位时间计测单元的时间计测，并且取消维护时期显示控制单元的显示命令。

在采用了如上所述地以手工作业来输入润滑油更换完成信号的方法时，增加工作人员的负担，并且有可能产生由操作人员进行的错误指示，其结果是导致进行了无意图的复位动作(即，管理数据的初始化)。另外，在更换鼓风机的润滑油时，气体激光装置的介质回路的内部空间曝露于外部空气中，所以担心在激励部及光共振部内侵入介质气体以外的不纯物而粘着在壁面等上，进而损害介质回路的气密性。因此，在润滑油更换后通常要进行对介质回路中介质气体的泄漏进行检查的作业(即泄漏检查)、以及除去侵入到介质回路的不纯物的作业(即养护(aging))。关于这点，做成了：在采用上述的现有维护时期监视装置时，工作人员利用手工作业输入了润滑油更换完成信号后，为了方便起见，同样利用手工作业来输入在气体激光装置中进行泄漏检查及养护的指示。由此工作人员的负担显著增加，担心由操作人员造成的错误指示的发生频率会升高。

本发明的目的是提供在采用气体状态激光介质的气体激光装置中，可自动管理鼓风机的润滑油更换时期，并且可自动执行润滑油更换后的管理数据的初始化，因此可以显著地减轻工作人员的负担可有效地排除错误指示的危险性的、可长期稳定工作的气体激光装置。