[发明专利]气体激光装置、和鼓风机的监视方法以及监视装置

权利要求书

1.一种气体激光装置，具备：具有强制性使介质气体(M)在介质回路(14)内循环的鼓风机(12)的激光振荡部(16)；和对该鼓风机的维护状态进行监视的鼓风机监视部(18)，其特征在于，

所述鼓风机具有：

存积润滑油(L)的贮油室(20)；和

油监视室(22)，其在比该贮油室所存积的预定的适量润滑油(L)的液面(S)低的位置，与该贮油室可流通液体地进行连通，

所述鼓风机监视部，具有：

油检测部(24)，其对存积在所述鼓风机的所述贮油室的润滑油作为所述贮油室的内压变化结果而流入并存在于所述油监视室进行检测；和

油更换判断部(26)，其在启动所述激光振荡部之前，对该油检测部是否检测出所述油监视室中的所述润滑油的存在进行监视，在该油检测部没有检测出该存在时，判断为存积在所述贮油室的所述润滑油为刚更换之后的润滑油。

2.根据权利要求1所述的气体激光装置，其中，

还具备：

控制部(54；64)，其对所述激光振荡部的动作进行控制；和

压力调整机构(62)，其与所述激光振荡部的启动以及停止的各个预备动作联动，来调整所述鼓风机的所述贮油室的内压，

该控制部，在作为该预备动作执行所述介质回路的内压调整的同时，对该压力调整机构进行的所述贮油室的内压调整动作进行控制。

3.根据权利要求1所述的气体激光装置，其中，

还具备：

控制部(54；74)，其对所述激光振荡部的动作进行控制；和

计时部(72)，其对存积在所述鼓风机的所述贮油室的所述润滑油更换后的、所述激光振荡部的实际动作时间进行计测，

该控制部根据该计时部计测出的该实际动作时间、和所述鼓风机监视部的所述油更换判断部得出的判断结果，对所述激光振荡部的动作进行控制。

4.根据权利要求3所述的气体激光装置，其中，

所述油更换判断部，在所述激光振荡部启动之前，所述油检测部检测出所述油监视室中的所述润滑油的所述存在时，判断为存积在所述贮油室的所述润滑油不是刚更换之后的润滑油，

所述控制部，将所述计时部计测出的所述激光振荡部的所述实际动作时间与预定的阈值进行比较，在该实际动作时间超过了该阈值时输出警报信号，并且在输出该警报信号后，当所述油更换判断部将所述润滑油判断为不是刚更换之后的润滑油时，强制停止所述激光振荡部的动作。

5.根据权利要求3所述的气体激光装置，其中，

所述控制部，在所述油更换判断部将所述润滑油判断为是刚更换之后的润滑油时，使所述计时部计测出的所述激光振荡部的所述实际动作时间自动地进行初始化。

6.根据权利要求2所述的气体激光装置，其中，

所述控制部在所述油更换判断部将所述润滑油判断为是刚更换之后的润滑油时，使所述激光振荡部自动执行检查所述介质回路中的介质气体泄漏的作业。

7.根据权利要求2所述的气体激光装置，其中，

所述控制部，在所述油更换判断部将所述润滑油判断为是刚更换之后的润滑油时，使所述激光振荡部自动执行除去侵入了所述介质回路的不纯物的作业。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的气体激光装置，其中，

所述鼓风机，具有划定所述贮油室以及所述油监视室的壳(38)，该油监视室通过局部突出于该壳外侧的气密壁部分(22a)进行划定。

9.根据权利要求1～7中任意一项所述的气体激光装置，其中，

所述鼓风机具有划定所述贮油室以及所述油监视室的壳(38)，该油监视室通过局部延设到该壳内侧的气密壁部分(22b)进行划定。