[发明专利]盘片结构及其制造方法与应用其的光镊装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种盘片结构及其制造方法与应用其的光镊装置，且特别涉及一种具有一反射层的盘片结构及其制造方法与应用其的光镊装置。

背景技术

随着科技的发展，光镊装置应用于微机电制程、生物领域或医学领域的情况逐渐普遍。目前的光操控技术包括：光学气体泵浦、光学漂浮及激光冷却捕捉原子&激光镊夹(Laser Cooling andTrapping)等。其中又以Arthur Ashkin et al.的单光束激光光镊技术最为应用广泛。光镊装置利用一高倍数及高数值孔径(NumericalAperture，NA)的透镜使激光聚焦后，以在聚焦处操控微纳米等级的一粒子。且由于光镊装置以非接触式及非侵入式的光学方式操控粒子，因此粒子的结构不会被破坏，可以有效地运用于细胞、血液、精液或微生物等生物粒子的操控。

就目前应用于光镊装置的激光而言，主要可分为单光束激光及双光束激光。一般而言，在应用单光束激光时，若要以较大的力量操控粒子，则需要使激光穿过具有高数值孔径的透镜。然而，具有高数值孔径的透镜的价格通常较为昂贵。至于双光束激光，虽然双光束激光不需要穿过具有高数值孔径的透镜，但由于双光束激光需同时应用两道激光，才可操控粒子，因此应用双光束激光的成本也较高。

发明内容

本发明涉及一种盘片结构及其制造方法与应用其的光镊装置，其具有一反射层以反射一激光。这样，激光与被反射的激光在一流道中形成两道单光束激光，以操控流道中的粒子的移动。

根据本发明，提出一种盘片结构。盘片结构设置于一光镊装置中。光镊装置包括一光源，光源用以产生一激光。盘片结构包括一第一基板、一第二基板及一反射层。第一基板具有至少一流道。第二基板对应第一基板设置。反射层设置于第一基板及第二基板之间，且反射层贴附于第二基板上。当激光穿过第一基板并接触反射层时，反射层反射激光，以使反射的激光与入射的激光在流道中形成光镊光场。

上述盘片结构还可包括一贴合层，其设置于第一基板及反射层之间，其可以以旋转涂布的方式设置于该第一基板及该反射层之间。优选地，该贴合层为一抗静电透明胶材。

该反射层的材料可以为银、铝、铜或合金，其可以以溅镀或蒸镀的方式设置于该第二基板上。

优选地，该第一基板为一透明基板。

根据本发明再提出一种盘片结构。盘片结构设置于一光镊装置中。光镊装置包括一光源，光源用以产生一激光。盘片结构包括一第一基板、一第二基板及一反射层。第二基板对应第一基板设置，且第二基板具有至少一流道。反射层设置在第一基板及第二基板之间，且反射层贴附于第二基板上。当激光穿过第一基板并接触反射层时，反射层反射激光，以使反射的激光与入射的激光在流道中形成光镊光场。

上述盘片结构还可包括一贴合层，其以旋转涂布的方式设置于第一基板及反射层之间。

优选地，贴合层为一抗静电透明胶材。

上述盘片结构还可包括一保护层，其以溅镀或蒸镀的方式设置于第一基板及反射层之间，且该保护层覆盖于该反射层上。优选地，该保护层的材料包括氧化铟锡。

优选地，该反射层的材料为银、铝、铜或合金。该第一基板为一透明基板。

在本发明的一个具体实施例中，该反射层以溅镀或蒸镀的方式设置于该第二基板上。

根据本发明再提出一种盘片结构的制造方法。制造方法包括：(a)形成一第一基板，第一基板具有至少一流道。(b)在一第二基板上形成一反射层。以及(c)贴合第一基板及第二基板，反射层位于第一基板及第二基板之间。

在步骤(a)中，利用射出成型、压铸、激光雕刻或蚀刻的方式形成该第一基板。

在步骤(b)中，利用溅镀或蒸镀的方式在该第二基板上形成该反射层。

在步骤(c)之前，该制造方法还可以包括：(b1)在该反射层与该第一基板之间形成一贴合层。

在步骤(b1)中，利用旋转涂布的方式在该反射层与该第一基板之间形成该贴合层。

根据本发明再提出一种盘片结构的制造方法。制造方法包括：(a)提供一第一基板。(b)形成一第二基板，第二基板具有至少一流道。(c)在第二基板上形成一反射层。以及(d)贴合第一基板及第二基板。反射层位于第一基板及第二基板之间。

在步骤(b)中，利用射出成型、压铸、激光雕刻或蚀刻的方式形成该第二基板。

在步骤(c)中，利用溅镀或蒸镀的方式在该第二基板上形成该反射层。

在该步骤(d)之前，该制造方法还可包括：(c1)在该第一基板上形成一贴合层。