[发明专利]盘片结构及其制造方法与应用其的光镊装置

权利要求书

1.一种盘片结构，设置于一光镊装置中，所述光镊装置包括一光源，所述光源用以产生激光，所述盘片结构包括：

第一基板，具有至少一流道；

第二基板，对应所述第一基板设置；以及

反射层，设置于所述第一基板及所述第二基板之间，且所述反射层贴附于所述第二基板上，当所述激光穿过所述第一基板并接触所述反射层时，所述反射层反射所述激光，以使反射的激光与入射的激光在所述流道中形成光镊光场，

其中，所述第一基板为透明材质。

2.根据权利要求1所述的盘片结构，还包括：

一贴合层，设置于所述第一基板及所述反射层之间，

其中，所述贴合层为透明材质。

3.根据权利要求2所述的盘片结构，其中所述贴合层以旋转涂布的方式设置于所述第一基板及所述反射层之间。

4.根据权利要求2所述的盘片结构，其中所述贴合层为一抗静电透明胶材。

5.根据权利要求1所述的盘片结构，其中所述反射层的材料为银、铝、铜或合金。

6.根据权利要求1所述的盘片结构，其中所述反射层以溅镀或蒸镀的方式设置于所述第二基板上。

7.一种盘片结构，设置于一光镊装置中，所述光镊装置包括光源，所述光源用以产生激光，所述盘片结构包括：

第一基板；

第二基板，对应所述第一基板设置，且所述第二基板具有至少一流道；以及

反射层，设置于所述第一基板及所述第二基板之间，且所述反射层贴附于所述第二基板上，当所述激光穿过所述第一基板并接触所述反射层时，所述反射层反射所述激光，以使反射的激光与入射的激光在所述流道中形成光镊光场，其中，所述第一基板为透明材质。

8.根据权利要求7所述的盘片

结构，还包括：

一贴合层，设置于所述第一基板及所述反射层之间，

其中，所述贴合层为透明材质。

9.根据权利要求8所述的盘片结构，其中所述贴合层以旋转涂布的方式设置于所述第一基板及所述反射层之间。

10.根据权利要求8所述的盘片结构，其中所述贴合层为一抗静电透明胶材。

11.根据权利要求7所述的盘片结构，还包括：

一保护层，设置于所述第一基板及所述反射层之间，且所述保护层覆盖于所述反射层上。

12.根据权利要求11所述的盘片结构，其中所述保护层以溅镀或蒸镀的方式设置于所述第一基板及所述反射层之间。

13.根据权利要求11所述的盘片结构，其中所述保护层的材料包括氧化铟锡。

14.根据权利要求7所述的盘片结构，其中所述反射层的材料为银、铝、铜或合金。

15.根据权利要求7所述的盘片结构，其中所述反射层以溅镀或蒸镀的方式设置于所述第二基板上。

16.一种盘片结构的制造方法，包括：

(a)形成第一基板，所述第一基板具有至少一流道；

(b)在第二基板上形成反射层；以及

(c)贴合所述第一基板及所述第二基板，所述反射层位于所述第一基板及所述第二基板之间，

其中，所述第一基板为透明材质。

17.根据权利要求16所述的制造方法，其中所述步骤(a)利用射出成型、压铸、激光雕刻或蚀刻的方式形成所述第一基板。

18.根据权利要求16所述的制造方法，其中所述步骤(b)利用溅镀或蒸镀的方式形成所述反射层于所述第二基板上。

19.根据权利要求16所述的制造方法，其中于所述步骤(b)之后、所述步骤(c)之前，所述制造方法还包括：

(b1)在所述反射层与所述第一基板之间形成一贴合层，

其中，所述贴合层为透明材质。

20.根据权利要求19所述的制造方法，其中所述步骤(b1)利用旋转涂布的方式在所述反射层与所述第一基板之间形成所述贴合层。