[发明专利]电子部件试验装置用接口装置

权利要求书

1.一种接口装置，其安装在用于进行被试验电子部件测试的测试头上，中继所述被试验电子部件和所述测试头之间的电连接，其特征在于，具备：

电缆，其一端电连接在与所述被试验电子部件电接触的计测板上，器件侧连接器，其安装在所述电缆的另一端上，和

中继连接器，其电连接设在所述测试头上的测试头侧连接器和所述器件侧连接器；

所述中继连接器具有：

连接器本体，其在所述接口装置中设在与所述测试头邻接的位置上；

第一连接部，其设在所述连接器本体上，可拆装地连接所述器件侧连接器；和

第二连接部，其设在所述连接器本体上，可拆装地连接所述测试头侧连接器。

2.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于，所述中继连接器具有多个所述第一连接部，而且，具有多个所述第二连接部。

3.如权利要求2所述的接口装置，其特征在于，具备多个所述中继连接器。

4.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于，所述中继连接器具有向所述测试头侧连接器突出的定位销，

所述测试头侧连接器具有与所述定位销相向的定位孔。

5.如权利要求1～4中任一项中所述的接口装置，其特征在于，所述被试验电子部件是被封装的半导体器件，

所述计测板是安装有与所述半导体器件电接触的插座的插座板。

6.如权利要求1～4中任一项中所述的接口装置，其特征在于，所述被试验电子部件是形成在晶片上的半导体器件，

所述计测板是安装有与所述半导体器件电接触的探针的探针卡。

7.一种电子部件试验装置，其用于进行被试验电子部件的测试，其特征在于，包括：

在测试时与所述被试验电子部件电连接的测试头，和

安装在所述测试头上、中继所述被试验电子部件和所述测试头之间的电连接的如权利要求1～4中任一项中所述的接口装置。