[发明专利]清洗装置与废水处理设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种清洗装置，且特别是涉及一种适用于废水处理设备的检测器的清洗装置。

背景技术

在半导体元件的制造过程中，常会使用各式各样的酸碱溶液，因而衍生出废水的处理问题。为了使流放的废水能够符合政府所制定的排放标准，业界无不用心钻研相关的处理程序，期望使排放废水对环境的不良影响降至最低。

一般而言，半导体制造业所产出的废水包括酸碱废水、氰化物废水、研磨废水、含氟废水与重金属废水等。依据废水中所含污染物的性质(例如物理性、化学性或浓度等)，不同种类的废水有其各自的处理作法。

举例来说，酸碱废水仅需先调匀水质与水量之后，再调整其中的酸碱(PH)值就可放流。氰化物废水大都是以氧化反应技术来处理，例如是利用氯(Cl₂)、次氯酸根(OCl^-)或臭氧(O₃)等反应物来与氰化物废水进行多阶段的化学反应而生成无毒的生成物。含氟废水中的氟离子是利用化学混凝法(chemicalcoagulation)来移除，亦即，在含氟废水中加入钙盐，通过氟离子与钙离子反应而生成氟化钙(CaF₂)沉淀物。重金属废水的处理通常是采用重金属化学混凝法，先在重金属废水中加入碱剂，调整其酸碱值之后，再添加助凝剂使其成为粗大胶羽(floc)，而后利用沉降分离的方式去除。

值得一提的是，废水处理的效能与废水水质有着密不可分的关系。以含氟废水的处理与废水酸碱值的关系为例，若是酸碱值控制不得当，这不仅会使得投入含氟废水中的化学药剂利用率未臻理想、化学反应不够完全、混凝胶羽不易形成或者沉降效果不佳，严重的话还可能无法达到预期的处理标准。因此，废水处理设备中通常会装设多种水质检测器，例如是酸碱度检测器、电导度(electrical conductivity)检测器、溶氧度(dissolved oxygen)检测器或浊度(turbidity)检测器，以确切掌握废水的水质变化状况。

只不过，废水中的固态悬浮物容易附着在检测器的检测电极表面，这会造成检测器的灵敏度下降而无法获取正确的数据，若是结垢状况严重的话，甚至会使得检测器完全失灵。

目前常见的维持检测电极表面清洁的作法，是以人工手动的方式先将反应槽中的检测电极一一拆卸下来。接着，将检测电极置于盐酸溶液中一段时间，以其强效的溶解能力将检测电极表面的结垢物溶解。然后，再把检测电极放回反应槽中。显而易见地，上述的检测电极的清洗步骤，不仅耗时，更需要大量的人力配置。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种清洗装置，此清洗装置可以有效清除检测电极上的附着物，使得检测电极的使用年限延长，并且可以取代现有以人力清洗检测电极的费时繁复步骤。

本发明提供一种废水处理设备，此设备可以避免检测电极受到胶羽附着而失灵，并能延长检测电极的使用寿命，进而能够具备较佳的废水处理效能。

本发明提供一种清洗装置，适用于清洗检测器的检测电极，包括支撑单元、清洗单元与升降单元。支撑单元支撑检测电极，使检测电极置于支撑单元内部。清洗单元具有多个喷洒构件。喷洒构件设置于支撑单元中。升降单元连接检测电极，其中升降单元升起检测电极之后，从喷洒构件喷出清洗液以清洗检测电极。

在本发明的实施例中，上述的清洗单元包括清洗液储存槽。清洗液储存槽连接喷洒构件，用以供给清洗液至喷洒构件。

在本发明的实施例中，上述的清洗单元还包括空气管路。此空气管路连接清洗液储存槽，用以对清洗液施加压力。

在本发明的实施例中，上述的喷洒构件包括多条管状体，其中每一条管状体上具有多个喷嘴，经由喷嘴将清洗液喷洒至检测电极表面。

在本发明的实施例中，上述的喷洒构件配置成环绕检测电极。

在本发明的实施例中，上述的清洗液例如是盐酸(HCl)或氢氧化钠(NaOH)。

在本发明的实施例中，上述的盐酸的浓度例如是5％。

在本发明的实施例中，上述的氢氧化钠的浓度例如是1％。

在本发明的实施例中，上述的升降单元包括固定部与气压式升降杆(pneumatic elevating rod)。固定部置于支撑单元上方，用以固定检测电极。气压式升降杆连接固定部，通过升降固定部，而升降检测电极。

在本发明的实施例中，上述的气压式升降杆还包括气压缸(air cylinder)。

在本发明的实施例中，上述的检测器例如是酸碱度检测器、电导度检测器、溶氧度检测器或浊度检测器。

在本发明的实施例中，上述支撑单元包括侧壁具有孔洞的管状体或纵剖管状体。