[发明专利]真空处理装置、静电卡盘的诊断方法及存储介质

权利要求书

1.一种真空处理装置，其特征在于：

在设置于真空容器内的载置台的静电卡盘上载置基板，向卡盘电极施加卡盘电压而使基板静电吸附在静电卡盘上，并对基板进行处理，

包括：

用于向所述卡盘电极施加比在真空处理时的卡盘电压低的诊断电压的电源；

用于在向所述卡盘电极施加诊断电压时测量静电卡盘的电气特性并取得其测量数据的测量部；

根据由该测量部取得的所述测量数据和预先设定的设定数据，对能否使用所述静电卡盘进行诊断的诊断部。

2.如权利要求1所述的真空处理装置，其特征在于：

所述测量数据选自，在静电卡盘的电介质层中流通的电流，该电流的变化量，从施加所述诊断电压的电源经过静电卡盘至接地的电路内的任意处的电压，以及该电压的变化量。

3.如权利要求1或2所述的真空处理装置，其特征在于：

还具有用于对各部分进行控制来进行自我诊断的控制部，以使向卡盘电极施加所述诊断电压并由测量部取得测量数据，然后在所述诊断部中进行诊断。

4.如权利要求3所述的真空处理装置，其特征在于：

所述控制部构成为，能够从开始真空容器内的真空排气的时刻经过预先设定的时间后，或在真空容器内的压力成为预先设定的压力后，执行所述自我诊断。

5.如权利要求3或4所述的真空处理装置，其特征在于：

所述控制部构成为，在收到操作者的自我诊断输入时，立刻执行所述自我诊断。

6.如权利要求3至5中任何一项所述的真空处理装置，其特征在于：

所述控制部构成为，在由诊断部诊断为不能使用所述静电卡盘时，按照预先设定的时间间隔，重复执行所述自我诊断。

7.如权利要求6所述的真空处理装置，其特征在于：

设定有所述自我诊断的重复次数的上限。

8.如权利要求7所述的真空处理装置，其特征在于：

所述控制部，在所述自我诊断的重复次数到达上限时，告知处于异常状态。

9.如权利要求3至8中任何一项所述的真空处理装置，其特征在于：

所述控制部构成为，在由诊断部诊断为可以使用所述静电卡盘之前，禁止向静电卡盘施加卡盘电压。

10.如权利要求1至9中任何一项所述的真空处理装置，其特征在于：

所述静电卡盘的电介质层，由喷涂膜构成。

11.一种静电卡盘的诊断方法，其特征在于，包括：

向设置于真空容器内的载置台的静电卡盘的卡盘电极施加比基板处理时的卡盘电压低的诊断电压的工序；

在向所述卡盘电极施加诊断电压时测量静电卡盘的电气特性并取得其测量数据的工序；

根据所述测量数据和预先设定的设定数据，对能否使用所述静电卡盘进行诊断的工序。

12.如权利要求11所述的静电卡盘的诊断方法，其特征在于：

所述测量数据选自，在静电卡盘的电介质层中流通的电流，该电流的变化量，从施加所述诊断电压的电源经过静电卡盘至接地的电路内的任意处的电压，以及该电压的变化量。

13.如权利要求11或12所述的静电卡盘的诊断方法，其特征在于：

从开始真空容器内的真空排气的时刻经过预先设定的时间后，或在真空容器内的压力成为预先设定的压力后，进行所述施加诊断电压的工序。

14.如权利要求11至13中任何一项所述的静电卡盘的诊断方法，其特征在于：

在收到操作者的诊断输入时，立刻执行所述施加诊断电压的工序。

15.如权利要求11至14中任何一项所述的静电卡盘的诊断方法，其特征在于：

在对静电卡盘进行诊断的工序中包括，在诊断为不能使用所述静电卡盘时，按照预先设定的时间间隔，重复执行所述诊断的工序。

16.如权利要求15所述的静电卡盘的诊断方法，其特征在于：

设定有所述诊断的重复次数的上限。

17.如权利要求16所述的静电卡盘的诊断方法，其特征在于：

包括，在所述诊断的重复次数到达上限时，告知处于异常状态的工序。