[发明专利]挥发性有机化合物处理装置

说明书

本申请是申请号为200510081182.0的申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及在例如甲苯、二甲苯、苯乙烯等如果放出到大气中则是有害的有机溶剂或其它的有机化合物的蒸汽、即挥发性有机化合物(简称为VOC)的分解中使用的挥发性有机化合物处理装置。

背景技术

在涂料工厂、半导体工厂或印刷工厂等中使用了大量的有机溶剂。已知从这样的工厂排出到大气中的VOC因与太阳光或臭氧等的反应而形成了有害的有机性微粒子或使大气中的臭氧浓度增加等对大气环境产生重大的不良影响的情况。因此，强烈地要求回收VOC并使其无害化。

为了进行VOC的回收，开发并普及了以蜂巢状形成了承载疏水性沸石或活性炭的片的气体浓缩叶轮(rotor)。利用催化剂或燃烧装置分解由气体浓缩叶轮吸附并浓缩的VOC使其无害化之后放出到大气中。

也开发了利用放电来分解VOC的装置。利用放电来分解VOC的装置的结构是与绝缘体一起用一对电极夹住承载了疏水性沸石的瓦楞状的VOC吸附体的结构。在VOC吸附体吸附饱和而不能充分地吸附VOC之前，在电极间施加5～7kV的交流电压发生放电，利用已发生的放电等离子体从VOC吸附体解吸VOC，进而将已解吸的VOC分解为水和二氧化碳。在用放电分解处理VOC的期间内，也流过与不是放电发生中的情况相同的量的处理对象气体。再有，如果使VOC吸附体接触放电并在分解处理VOC时停止气体的流动，则由于VOC吸附体只有1个，故不能进行气体的处理。

再有，将VOC吸附体吸附饱和而不能充分地吸附VOC这一点称为VOC吸附体转效。(例如，参照专利文献1)

【专利文献1】特开2002-126445号公报

希望有能分解处理VOC而且不发生对环境产生不良影响的物质、功耗少、装置成本低廉的装置。以往的利用放电来分解VOC的装置存在以下的问题。

(1)由于一度地处理全部的VOC吸附体，故必须增加放电电流，进而增加电源容量，装置成本提高了。

(2)由于在放电发生时也流过与放电不发生时相同的量的气体，故气体中的氮与氧因放电而发生反应，发生大量的有害的氮氧化物(简称为NOx)。

发明内容

与本发明有关的挥发性有机化合物处理装置的特征在于：具备：与处理对象气体接触以吸附挥发性有机化合物的吸附体；以与该吸附体的一部分接触的方式发生放电的多个电极对；以及通过对该电极对施加电压来控制在哪个上述电极对中发生放电的放电控制机构，上述电极对被分成多个组，上述放电控制机构对上述电极对的每个组施加电压，以使不同的上述吸附体的部分顺序地与放电接触。

此外，与本发明有关的挥发性有机化合物处理装置具备：与处理对象气体接触以吸附挥发性有机化合物的吸附体；以与该吸附体的一部分接触的方式发生放电的一对电极；以及放电控制机构，使至少一侧的上述电极或上述吸附体的至少某一个移动，对上述电极对施加电压，以使不同的上述吸附体的部分顺序地与放电接触。

再者，与本发明有关的挥发性有机化合物处理装置具备：与处理对象气体接触以吸附挥发性有机化合物的吸附体；以与该吸附体接触的方式发生放电的电极对；多个气体处理单元，被分成具有将上述吸附体和上述电极对容纳在其中的可密闭的隔室的多个组；以及放电控制机构，对上述电极对施加电压，以使在该气体处理单元的组中顺序地发生放电。

进而，与本发明有关的挥发性有机化合物处理装置具备：与处理对象气体接触以吸附挥发性有机化合物的吸附体；以在其间夹住该吸附体的方式配置的发生放电的电极对；检测处理对象气体中的挥发性有机化合物的浓度的VOC浓度传感器；以及放电控制机构，从用该VOC浓度传感器检测出的挥发性有机化合物的浓度求出上述吸附体吸附的挥发性有机化合物的量，在该吸附的挥发性有机化合物的量大于等于规定值之后，对上述电极对施加电压，发生放电。

再者，与本发明有关的挥发性有机化合物处理装置具备：与处理对象气体接触以吸附挥发性有机化合物的吸附体；以在其间夹住该吸附体的方式配置的发生放电的电极对；检测处理对象气体中的挥发性有机化合物的浓度的VOC浓度传感器；以及放电控制机构，从用该VOC浓度传感器检测出的挥发性有机化合物的浓度求出上述吸附体吸附的挥发性有机化合物的量，根据放电开始时刻的上述吸附体吸附的挥发性有机化合物的量，使施加电压、放电电流、放电继续时间中的至少某一个变化。