[发明专利]旋转头及使用该旋转头的基底处理方法

权利要求书

1.一种旋转头，包括：

可转动支撑板；

第一夹持销和第二夹持销，它们安装在所述支撑板的顶面上并且支撑基底的边缘部分，防止已装载在所述支撑板上的基底在所述支撑板转动时脱离所述支撑板；以及

驱动单元，其借助于磁力选择性地将所述第一夹持销和所述第二夹持销沿着所述支撑板的径向向外移动，使所述第一夹持销和所述第二夹持销在处理过程中不接触所述基底的边缘部分。

2.如权利要求1所述的旋转头，其中，所述驱动单元包括：

第一从动件，每个所述第一从动件包括第一磁体，所述第一从动件与所述第一夹持销相连接并且借助于磁力与所述第一夹持销一起沿着所述支撑板的径向移动；

第二从动件，每个所述第二从动件包括第二磁体，所述第二从动件与所述第二夹持销相连接并且借助于磁力与所述第二夹持销一起沿着所述支撑板的径向移动；

设置在所述第一从动件和所述第二从动件的内侧的驱动磁体；以及

用于升降所述驱动磁体的升降部件，其选择性地将磁力施加给位于第一高度的所述第一磁体和位于第二高度的所述第二磁体。

3.如权利要求2所述的旋转头，其中，各个所述第一磁体及所述第二磁体相对于所述驱动磁体的那一侧与所述驱动磁体相对于所述第一磁体及所述第二磁体的那一侧具有相同的极性。

4.如权利要求2所述的旋转头，还包括：

第三夹持销，其安装在所述支撑板的顶面上并且支撑所述基底的边缘部分，

其中，所述驱动单元还包括第三从动件，每个所述第三从动件包括第三磁体，所述第三从动件与所述第三夹持销相连接并且借助于磁力与所述第三夹持销一起沿着所述支撑板的径向移动，所述第三磁体设置在不同于所述第一高度和所述第二高度的第三高度处。

5.如权利要求2所述的旋转头，其中，所述第一从动件还包括第一副磁体，所述第一副磁体设置在不同于所述第一高度和所述第二高度的第三高度处，所述第二从动件还包括设置在所述第三高度处的第二副磁体；且

其中，所述驱动磁体将磁力施加给所述第一副磁体和所述第二副磁体，使所述第一夹持销和所述第二夹持销同时沿着所述支撑板的径向向外移动。

6.如权利要求2所述的旋转头，其中，所述驱动单元还包括：

第一弹性部件，其与所述第一夹持销相连接，并且将弹力沿着所述支撑板的径向向内提供给所述第一夹持销；以及

第二弹性部件，其与所述第二夹持销相连接，并且将弹力沿着所述支撑板的径向向内提供给所述第二夹持销，

其中，所述驱动磁体允许所述第一夹持销和所述第二夹持销沿着所述支撑板的径向向外移动。

7.如权利要求2所述的旋转头，其中，所述第一从动件包括：

第一壳体，在其里面容纳有所述第一磁体；

第一从动杆，其从所述第一夹持销沿着所述支撑板的径向延伸，并且将所述第一夹持销与所述第一壳体连接；

第一轴套，其固定在所述支撑板的底面上并且引导所述第一从动杆的移动方向；

第一弹性部件，其与所述第一轴套相连接并且将弹力沿着所述支撑板的径向向内提供给所述第一从动杆；以及

第一固定装置，其与所述第一弹性部件的另一端相连接并且固定在所述第一从动杆上。

8.如权利要求1所述的旋转头，还包括：

保险单元，当所述支撑板转动时，所述保险单元防止与所述基底的边缘部分相接触的第一夹持销或第二夹持销沿着所述支撑板的径向向外移动。