[发明专利]等离子化学气相沉积炉无效
| 申请号： | 200710132924.7 | 申请日： | 2007-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN101139704A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 李荣华 | 申请（专利权）人： | 吴江市天地人真空炉业有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;C23C16/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215200江苏省吴江市松陵*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子 化学 沉积 | ||
【权利要求书】：
利用等离子枪产生低气压支流辉放电，然后通入适量的含有可沉积金属齿化气体及还原气体，经过一系列的化学反应和等离子体活化作用来达到工件表面实现涂层的目的。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
