[发明专利]设计一个探针卡的方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种交互式探针卡的设计流程。本发明特别地考虑了使用一个可通过互联网得到的自动化程序的用户化探针卡的设计。

背景技术

单个集成电路装置(芯片)典型地由在一个半导体晶圆上建立多个相同的装置来制造的。通常，这些流程企图在从该半导体晶圆分割单独芯片之前建立多个完全功能的集成电路装置。实际上，该晶圆自身的某些物理缺陷和在该晶圆的流程中的某些缺陷不可避免地导致一些芯片是“好”(完全功能)的，而一些芯片是“坏”(无功能和部分功能)的。通常希望在最后组装之前能够辨别出在一个晶圆上的该多个芯片中哪些是好的，并且最好是在将该芯片从该晶圆中分割出来之前辨别出来。所以，一个晶圆“检测器”或”探针”可方便地被用来为所述芯片上的类似的多个压接式接续焊盘(接合焊盘)制造多个离散的压接式接续。如此，该半导体芯片可在从该晶圆分隔出来之前被测试和实施。一个传统的晶圆检测器元件是“探针卡”。该探针卡具有多个用来连接到该半导体芯片的所述相应焊盘以便测试的探针元件。

传统上，制造探针卡的设计阶段必定涉及客户和探针卡制造商之间的重要的、并且经常是广泛的、费时的和直接的通信，例如对达到预期的设计规则、实施和装配限制来说，相互交流是必不可少的，而达到预期的设计规则、实施和装配限制对探针卡被赋予最终形式来说必不可少的。虽然，一个探针卡制造工程师在一个给定的时间内可收到几个工作指令，但是在给工程师提供某一详尽的客户设计信息值之前，一个特殊的探针卡的实际设计不可能开始的。最好在所有设计规则都得到客户的确认之前不开始实际的设计。接下来，工程师必须研制出一个满足这些规则的设计，并再次与客户确认该设计的可接受性。

由于互联网使得探针卡制造商与他们的客户之间的通信更加容易，因而互联网的出现潜在地加速了设计过程。尤其是当前探针卡制造商建立的网站使客户能够通过互联网发送和确认他们的设计规则。尽管这样，工程师仍然必须物理上设计每一探针卡，并等待相应的客户认可每一个设计，才能开始制造探针卡。为了改进这个程序，本发明提供一种在线工具使客户能够设计他们自己的探针卡。

发明内容

本发明满足了加快当前探针卡设计程序的需要。尤其是在客户输入他们的探针卡设计规则、接收用来实现设计的全部设计规则和接收确认文件时提供了一个交互过程。每一组设计规则的集体可行性由自动化计算机系统确定并传送到客户。如果可行，另一软件使预定客户能够根据他们相应的设计规则来建立确认包。这些确认包进一步包括通常用来描述最终设计的图形文件和确认文件例如确认晶圆接合焊盘的数据的文件。需要时，确认包可由客户检查和修改。该过程反复地进行，直到客户对最终的设计满足为止，此时该设计规则和确认包被传送到探针卡制造设计工程师以便制造该探针卡。

在另一实施例中，本发明提供一种探针卡模拟，在该模拟中，预定客户可以检查所建议的设计的信号完整性和确定合适的“最坏情况”信号响应或退耦行为。在模拟过程中，除检验信号响应和退耦行为外，在另一实施例中，其他设计因素和参数可被模拟，例如功能正确性、延时正确性、全球和本地信号畸变(在特殊的组中或者在所有信号之间)、串扰分析(延时、插入或者其他现象)、电源完整性和抖动效应等。

在另一个实施例中，提供了探针卡性能的交互模拟。探针卡性能的数据被并入到一个整体的模拟演习中去，该整体模拟演习不仅包括该探针卡，还包括被测设备(或DUT)上的数据以及自动测试设备上的数据。

通过考虑下面详细描述的较佳实施例，本领域的技术人员将会对设计一个探针卡的原理和系统有一个更全面的理解，并且也将对附加的优点和目标有所认识。参考附图，其中该附图在下文中有简短的描述。

附图说明

图1A是用于晶圆测试的晶圆探测仪器的示意截面图；

图1B是图1A所示晶圆探测仪器沿箭头1B所示方向的透视俯视图；

图2是设计一个探针卡的传统程序的流程图；

图3是本发明一个较佳实施例方框图；

图4是根据本发明一个实施例的设计一个探针卡的程序的流程图；

图5是根据本发明一个实施例的产生一个设计确认包的步骤的流程图；以及

图6是根据本发明一个实施例的产生一个探针卡模拟的步骤的流程图；

具体实施方式