[发明专利]芯片分离方法无效

专利信息
申请号: 200710123918.5 申请日: 2007-10-16
公开(公告)号: CN101414544A 公开(公告)日: 2009-04-22
发明(设计)人: 陈栋栋 申请(专利权)人: 陈栋栋
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518034广东省深圳市福*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 芯片 分离 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及芯片的制造领域,特别是关于一种将芯片从薄膜上 分离的方法。

背景技术

参照图1和图2,在芯片13的制造过程中,通常包括将一个 大片的晶片(wafer)10切割成多个芯片13的步骤。为了便于切 割,需先将晶片10粘附在薄膜12上。这样,切割后的各个芯片13 依然粘附在薄膜12上面并且整齐的排列在一起。

芯片13作为单独的集成电路具有一定的功能,从而可以用于 和其它电路作进一步的组装,以便得到最终的电子产品。

芯片13在进入后续的组装生产线之前,通常是保留在薄膜12 上面。而且,为了便于存放和运输,薄膜12以及其上的芯片13需 通过固持盘11固定。固定在一起的薄膜12、芯片13和固持盘11 组成了芯片组件14。

同时,由于芯片13会因不同的功能设计而在不同的薄膜12上 具有不同的长度、宽宽、数量以及芯片的间距等排列方式。另外, 薄膜12上的芯片13也会因制造过程而存在好坏之分。为此,芯片 13的制造商在售出芯片组件14的同时,通常会附带有关于该芯片 组件14中的芯片13的上述数据,即:每一芯片13的长度、宽宽; 所有芯片13的数量、芯片13的好坏以及芯片13的间距等。这些 数据通常会记录为XML(eXtensible Markup Language,扩展标记 语言)文本格式。

然而,该XML文本中的数据并不能直接为购买者直接使用。这 样,又导致了另一个问题,那就是如何根据XML文本格式的文件自 动地将芯片从薄膜上分离下来。

发明内容

为了解决如何将芯片从薄膜上分离下来的问题,本发明提供了 一种芯片分离方法。

本发明解决技术问题所采用的技术方案是:提供一种芯片分离 方法,其包括:提取关于芯片组件的XML文本中的有用数据;将 该有用数据写入软件中,使该软件含有对应芯片组件中的多个芯片 的实际排列关系的信息;通过计算机执行该软件,该软件进而控制 一X-Y方向移动机构移动;该X-Y方向移动机构将设置在其上的 芯片组件中的第一芯片移动到对应一顶针的位置;该顶针将该第一 芯片从该芯片组件中顶起。该芯片分离方法可以自动地将芯片从薄 膜上分离下来,为芯片快速进入后续的组装生产线提供了条件。

本发明解决技术问题所采用的另一技术方案是:提供一种芯片 分离方法,其包括:提取关于芯片组件的XML文本中的有用数据; 将该有用数据写入软件中,使该软件含有对应芯片组件中的多个芯 片的实际排列关系的信息;通过计算机执行该软件,该软件进而控 制一X-Y方向移动机构移动;该X-Y方向移动机构将设置在其上 的顶针移动到对应芯片组件中的第一芯片的位置;该顶针将该第一 芯片从该芯片组件中顶起。

本发明的芯片分离方法可以根据XML文本格式的文件自动地将 芯片从薄膜上分离下来,为芯片快速进入后续的组装生产线提供了 条件。

附图说明

图1是粘附在薄膜上的晶片的侧面示意图。

图2是由芯片、薄膜和固持盘形成的芯片组件的平面示意图。

图3是本发明的芯片分离方法中所用的芯片分离设备的平面示 意图。

图4是本发明的芯片分离方法中所用的芯片分离设备的顶针对 芯片进行分离的动作示意图。

图5是本发明的芯片分离方法的流程图。

具体实施方式

参照图3,是本发明芯片分离方法中所用的芯片分离设备20 的平面示意图。该芯片分离设备20包括夹具21、第一丝杆22、第 二丝杆23、顶针24、第一驱动装置25、第二驱动装置31、第三驱 动装置32和计算机40。

该夹具21设置在第一丝杆22上,并用于夹持芯片组件14。 优选地,芯片组件14水平地固定在该夹具21上。

该第一丝杆22用于带动该夹具21在水平面内的y方向移动。 该第一丝杆22设置在该第二丝杆23上。该第二丝杆23的作用在 于带动该第一丝杆22在水平面内的x方向移动。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陈栋栋,未经陈栋栋许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200710123918.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top