[发明专利]微波等离子体反应腔有效
| 申请号： | 200710121656.9 | 申请日： | 2007-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101123844A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;张贵新;冯剑 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 反应 | ||
【权利要求书】：
1.一种微波等离子体反应腔，其特征在于，该反应腔包括：空心圆柱形主腔体、空心圆柱形过渡腔、渐变波导、石英玻璃片和拉杆；该主腔体前端与该过渡腔相连通，该过渡腔前端与该渐变波导相连，在渐变波导与过渡腔之间，放置石英玻璃片，该拉杆从主腔体后端插入主腔体内，用于调节主腔体的长度。
2.如权利要求1所述的反应腔，其特征在于，还包括；用于密封固定该主腔体两端的上、下法兰；在该上下法兰处各设置了两个进气孔和两个出气孔。
3.如权利要求1所述的反应腔，其特征在于，还包括；在主腔体的壁上开有观察孔。
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