[发明专利]去除边缘光刻胶装置

权利要求书

1.一种去除边缘光刻胶装置，包括装置主体，其特征在于，所述装置主 体内设置有通过负压抽吸玻璃基板边缘残液的排管，所述装置主体上连接有 从玻璃基板上方和下方以倾斜方向向玻璃基板端部喷射化学药液的上喷针和 下喷针；所述上喷针与玻璃基板的夹角为30°～60°，所述下喷针与玻璃基 板的夹角为30°～60°。

2.根据权利要求1所述的去除边缘光刻胶装置，其特征在于，所述上喷 针通过上连接件与所述装置主体连接，所述上连接件上设置有导入化学药液 的上药液进口。

3.根据权利要求1所述的去除边缘光刻胶装置，其特征在于，所述下喷 针通过下连接件与所述装置主体连接，所述下连接件上还设置有导入化学药 液的下药液进口。

4.根据权利要求1所述的去除边缘光刻胶装置，其特征在于，所述上喷 针与玻璃基板的夹角为45°，所述下喷针与玻璃基板的夹角为45°。

5.根据权利要求1～3中任一权利要求所述的去除边缘光刻胶装置，其特 征在于，所述上喷针的端部与玻璃基板的垂直距离为1mm～1.5mm，所述下喷 针的端部与玻璃基板的垂直距离为1mm～1.5mm。

6.根据权利要求5所述的去除边缘光刻胶装置，其特征在于，所述上喷 针的端部与玻璃基板的垂直距离为1.25mm，所述下喷针的端部与玻璃基板的 垂直距离为1.25mm。

7.根据权利要求1～3中任一权利要求所述的去除边缘光刻胶装置，其特 征在于，所述排管内的负压为300pa～800pa。