[发明专利]清洗铝合金零件的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种清洗方法，尤其涉及一种清洗铝合金零件的方法。

背景技术

铝合金是半导体刻蚀设备使用的重要材料，其反应室的关键零部件多为铝合金制造。根据设计要求，这些零部件表面有的需要经过表面处理，比如硬质阳极氧化、等离子喷涂、导电氧化、刷度镍等，有的则直接采用铝金属表面。在集成电路制造过程中，铝合金零部件需经常周期性地进行清洗，零部件清洗质量的好坏关系到刻蚀工艺是否可以正常进行。

目前，在铝合金零件清洗中，水痕(water mark)是经常出现的问题。

现有技术一：采用IPA擦拭，再用菜瓜布沾热水擦拭。

上述现有技术一至少存在以下缺点：不能根本去除水痕，并且费力费时，清洗效果不明显。

现有技术二：采用1％～5％的醋酸铵、1％～10％的醋酸、1％～8％的硫酸铝溶液浸泡，再用菜瓜布擦拭。

上述现有技术二至少存在以下缺点：化学液配制麻烦，整个过程操作复杂费时，并且整体效果不够明显。

发明内容

本发明的目的是提供一种操作简便、能有效除去水痕、清洗效果明显的清洗铝合金零件的方法。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明的清洗铝合金零件的方法，包括步骤：

A、用金属抛光研磨液研磨铝合金零件表面；

B、用无尘纸蘸有机溶剂擦拭铝合金零件表面；

C、采用超声清洗铝合金零件表面。

由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的清洗铝合金零件的方法，由于先用金属抛光研磨液研磨，再用无尘纸蘸有机溶剂擦拭，再采用超声清洗铝合金零件表面。操作简便、能有效除去水痕、清洗效果明显。

具体实施方式

本发明的清洗铝合金零件的方法，其较佳的具体实施方式是，包括，

步骤1、用金属抛光研磨液研磨铝合金零件表面；

步骤2、用无尘纸蘸有机溶剂擦拭铝合金零件表面，所述的有机溶剂可以是异丙醇、乙醇或丙酮中的一种或多种，也可以是其它的有机溶剂。

步骤3、采用超声清洗铝合金零件表面。

所述的步骤1之前，首先用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋，并用氮气将铝合金零件表面吹干。

其中，步骤1和步骤2可以重复进行一次或多次，然后用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋，并用氮气将铝合金零件表面吹干。

用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋的时间大于等于5分钟。

所述的步骤3中，采用超声清洗铝合金零件表面时，首先用20—30千赫的超声清洗20—30分钟，再用35—45千赫的超声清洗20—30分钟。超声能量密度小于等于20瓦/加仑。可以在水温为20—25℃的18兆去离子水中进行。

最后，用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋，并用氮气将铝合金零件表面吹干，再进行烘干。烘干的温度为80～120℃，时间为1～1.5小时。

一个具体实施例：

准备金属抛光专用研磨液、M-3无尘纸、无尘室专用防护胶带以及电子级IPA(异丙醇)。

在室温下使用超纯水喷淋零件表面至少5分钟，以去除表面一些吸附性较低的颗粒污染物，然后用洁净N2枪吹干表面。

使用电子级异丙醇来去除裸铝表面的有机杂质，其他的有机溶剂如果符合要求也可以使用如乙醇、丙酮等，但前提是不能造成裸铝表面的再次污染；再用超纯水冲洗，并用N2枪吹干。

用防护胶带覆盖无需进行清洗的表面部分。

将适量研磨液涂抹在M-3无尘纸上，顺着裸铝原本的抛光纹路轻轻均匀擦拭，避免过于用力或力度不均，从而导致擦拭过多的表面产生新的纹路或破坏原有纹路。

用蘸有IPA的M-3无尘纸擦拭被研磨过的表面，除去研磨中留下的污物，擦拭直到无尘纸上看不出污染颜色。

重复上述研磨和擦拭的步骤5—6次，直到去除裸铝表面所有水痕并使其光亮。

揭去防护胶带。

在室温下使用超纯水喷淋零件表面至少5分钟，然后用洁净N2枪吹干表面。

放入超声槽中，更换新的18兆去离子水，水温为室温25℃，以较低频率(25KHz)进行大颗粒的去除，超声20-30分钟，超声能量密度小于20瓦/加仑，零件与托板之间垫有无尘布以防止水印。时间不要过长，以免损害表面。