[发明专利]清洗铝合金零件的方法无效
| 申请号: | 200710120619.6 | 申请日: | 2007-08-22 |
| 公开(公告)号: | CN101372748A | 公开(公告)日: | 2009-02-25 |
| 发明(设计)人: | 陶林 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号: | C23G5/00 | 分类号: | C23G5/00;B08B3/12;B08B3/02 |
| 代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵镇勇 |
| 地址: | 100016北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 清洗 铝合金 零件 方法 | ||
1.一种清洗铝合金零件的方法,其特征在于,包括步骤:
A、用金属抛光研磨液研磨铝合金零件表面;
B、用无尘纸蘸有机溶剂擦拭铝合金零件表面;
C、采用超声清洗铝合金零件表面。
2.根据权利要求1所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的步骤A之前,首先用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋,并用氮气将铝合金零件表面吹干。
3.根据权利要求1所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的有机溶剂包括以下至少一种溶剂:
异丙醇、乙醇、丙酮。
4.根据权利要求1所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的步骤C之后还包括,用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋,并用氮气将铝合金零件表面吹干,再进行烘干。
5.根据权利要求4所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,对铝合金零件表面进行烘干的温度为80~120℃,时间为1~1.5小时。
6.根据权利要求1所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的步骤A和步骤B重复进行一次或多次,然后用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋,并用氮气将铝合金零件表面吹干。
7.根据权利要求2、4或6所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋的时间大于等于5分钟。
8.根据权利要求1所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的步骤C中,首先用20—30千赫的超声清洗20—30分钟,再用35—45千赫的超声清洗20—30分钟。
9.根据权利要求1或8所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的步骤C中,采用超声清洗时,超声能量密度小于等于20瓦/加仑。
10.根据权利要求1或8所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的步骤C中,采用超声清洗时,在水温为20—25℃的18兆去离子水中进行。
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