[发明专利]将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法无效

专利信息
申请号: 200710118003.5 申请日: 2007-06-27
公开(公告)号: CN101334812A 公开(公告)日: 2008-12-31
发明(设计)人: 李金儒;赵珉;王琴;刘明;陈宝钦 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G06F19/00 分类号: G06F19/00;G03F7/20
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 周国城
地址: 100029*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: cif 格式 圆形 切割 pg3600 矩形 方法
【权利要求书】:

1、一种将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法,其特征在于,该方法包括:

将圆形近似作为一个正n边形,计算n的值,n为自然数;

将所述正n边形切割成矩形和直角三角形的组合;

将切割得到的矩形最大限度的合并成一个矩形;

将合并后得到的矩形外部左右部分的矩形在垂直方向上合并成矩形条,将合并后得到的矩形外部上下部分的矩形在水平方向上合并成矩形条;

对于切割得到的直角三角形,以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形包围该直角三角形。

2、根据权利要求1所述的将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法,其特征在于,所述将圆形近似作为一个正n边形并计算n的值的步骤包括:

作该圆形的一条弦,使该弦与所夹的圆弧所形成的弓形的高小于或等于允许的误差范围2μm,然后计算出该弦所对应的圆心角,并计算2π与该圆心角的比值k,则n取大于k且为4的倍数的整数。

3、根据权利要求1所述的将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法,其特征在于,所述将所述正n边形切割成矩形和直角三角形的组合的步骤,是通过连接正n边形上的n个上下和左右对称的顶点实现的。

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