[发明专利]将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法

说明书

技术领域

本发明涉及微光刻图形数据格式转换技术领域，尤其涉及一种将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法。

背景技术

由于不同的曝光设备一般都是使用自己专用的图形数据格式，所以必须进行数据格式转换处理。目前保留下来比较多的光学曝光系统仍然是GCA 3600F图形发生器(GCA 3600F Pattern Generator)和GCA 3696分步重复精缩机(GCA 3696 Photo-Repeater)，其使用的PG3600图形数据格式(PG3600 format)是以不同角度的矩形为基本单元来存储数据的。

加利福尼亚州理工学院中介格式(Caltech Intermediate Form，CIF)是世界上光掩模制造业常用的数据交换格式之一，其以圆、圆形、矩形和有宽度的线段等四种图形为基本图形单元存储数据。由于它是以文本形式书写，便于修改和编辑，所以在图形数据处理和格式转换过程中，常用它作为中间格式。

传统的CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法是以某种角度对应的弦和圆的半径为矩形的边长，按照该角度旋转曝光，圆形中心是大量重叠曝光，严重影响掩模版的质量。也有人采用其他切割方法取代传统旋转切割方式，如条形切割法等，但割切出的矩形数量太多而且边缘不整齐。

为此，我们也采用从CIF到PG3600格式的数据转换方式。首先，在允许图形少量重叠的情况下，将CIF格式中的各种图形切割成PG3600所需要的各种角度的矩形，然后再根据光学图形发生器3600F计算机曝光控制语言要求进行代码转换。

本发明的主要特征是把CIF格式中的圆形在误差允许的条件下切割成PG3600格式的矩形，使其切割出的矩形重叠部分比其他切割方法小了很多，而且切割出的矩形数据量也少。

发明内容

(一)要解决的技术问题

有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法，以解决传统切割重叠曝光部分太多的问题，达到提高图形发生器曝光速度和曝光质量的目的。

(二)技术方案

为达到上述目的，本发明提供了一种将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法，该方法包括：

将圆形近似作为一个正n边形，计算n的值，n为自然数；

将所述正n边形切割成矩形和直角三角形的组合；

将切割得到的矩形最大限度的合并成一个矩形；

将合并后得到的矩形外部左右部分的矩形在垂直方向上合并成矩形条，将合并后得到的矩形外部上下部分的矩形在水平方向上合并成矩形条；

对于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形包围该直角三角形。

上述方案中，所述将圆形近似作为一个正n边形并计算n的值的步骤包括：作该圆形的一条弦，使该弦与所夹的圆弧所形成的弓形的高小于或等于允许的误差范围2μm，然后计算出该弦所对应的圆心角，并计算2π与该圆心角的比值k，则n取大于k且为4的倍数的整数。

上述方案中，所述将所述正n边形切割成矩形和直角三角形的组合的步骤，是通过连接正n边形上的n个上下和左右对称的顶点实现的。

(三)有益效果

从上述技术方案可以看出，本发明具有以下有益效果：

1、利用本发明，由于采用混合拼接方法，所以切割方法很简单，容易编程实现。

2、利用本发明，由于采用根据精度要求计算多边形的边数，所以切割后的图形与原图形的误差可以做到很小。

3、利用本发明，由于采用矩形合并技术，所以切割出的矩形数据量很小。

附图说明

图1为本发明提供的将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法流程图；

图2为本发明提供的计算n值的示意图；

图3为依照本发明实施例将正n边形切割成矩形和直角三角形的组合的示意图；

图4为依照本发明实施例将切割得到的矩形最大限度的合并成一个矩形的示意图；

图5为依照本发明实施例以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形包围该直角三角形的示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。

如图1所示，图1为本发明提供的将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法流程图，该方法包括以下步骤：

步骤101：将圆形近似作为一个正n边形，计算n的值，使所述正n边形的n个顶点在所述圆形上上下和左右对称，n为自然数；