[发明专利]一种探针短路防止结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种短路防止结构，特别是关于一种用于并列式探针的短路防止结构。

背景技术

现有的检测探针常用于晶圆的芯片在封装测试阶段的组件性能检测，为了达到测试时间缩短的目的，封装测试厂商经常利用并列试探针以减少测试时间。所谓并列式探针，是多个检测探针并行排列而成；且由于芯片的量测接点间隔距离相当接近，因此，各检测探针的间距也必须相当接近。一般而言，该并列式探针进行芯片性能检测时，将该并列式探针以垂直或略微倾斜接触各探针对应的量测接点，以进行量测。

然而，由于各探针之间的距离相当接近，若该并列式探针接触芯片的量测接点表面时因测试表面不平整、阻装或制程误差等因素造成一侧向力干扰，将可能使两两相邻的探针相互接触而造成邻近的探针形成短路；因此，遂有一种具有固定隔离设计的并列式探针，用以解决上述问题，如图13所示。

参考图13，该具有固定隔离设计的并列式探针80包含多个并行排列的探针81，以及附着固定在两两相邻的探针之间的隔离块82，因此，当该具有隔离设计的并列式探针80直接接触一晶圆90的量测接点92时，即使各探针81以倾斜角度接触各量测接点92时，各探针81也不会相互接触短路。

但是该晶圆90的各量测接点92常因为制造流程的差异，导致各量测接点92的水平高度并不相同；而由于该具有隔离设计的并列式探针80的各探针81受隔离块82的限制而无法自由活动，当各量测接点92的高度差异大时，可能衍生某些探针81无法接触其对应之量测接点的问题92。

请参考图14，是一具有隔离手臂的探针结构，可解决前述各探针80的活动受到该隔离块82限制而导致无法与各高度不同的量测接点92的问题，其将多个量测探针84置于两两隔离手臂85之间，藉此，即可同时避免各量测探针84于量测时接触而短路，且也赋予该量测探针84具备一定的纵向活动能力，而进一步解决量测接点92高度不同而导致无法量测的问题。

虽然前述的具有隔离手臂的探针结构可达到上述的功效，但是如图8所示，该隔离手臂85的数量必须与量测探针84对应，而具有结构复杂的问题。另外，请参考图15及图16，其是一具有隔离块的挠曲形对向式探针86，其中，当该对向式探针86于接触量测接点92时，由于两两相对的对向式探针86的相互接触面分别设有一绝缘层87，使成对的对向式探针86使用时不相互接触而造成短路，如图16所示；但是该对向式探针86的结构，然而对于侧向并列式高密度探针数组并无法达到防止短路的功效。

发明内容

本发明的目的是提供一种为解决既有具有隔离设计的并列式探针因探针受到固定隔离块限制导致探针无法接触量测接点的问题，及该具有隔离手臂的探针结构复杂的问题，以及对向式隔离层无法避免并列式高密度探针数组侧向短路的问题，本发明是一种探针短路防止结构，其是一非导电块状材料，各隔离结构固定嵌合于一探针针体，其宽度略大于各探针自由端的宽度，且各隔离结构的宽度方向朝各邻近的探针凸出延伸，且不与邻近的探针固定连接。由于各探针相互分离且其间均以隔离结构预防短路，使各探针使用时，可适用于不同高度的芯片的量测接点；且该隔离结构也可免除各探针在量测时相互接触短路的问题，并且又有结构简单的优点；因此，本发明的该探针短路防止结构，其不仅赋予各探针具有不同高度量测接点以及在量测时不会短路的优点，且由于隔离结构的结构简单，更可提升各探针的排列密度，而可进一步达到更佳的效能。

附图说明

图1为本发明的第一较佳实施例立体图；

图2为本发明的第二较佳实施例立体图；

图3为本发明的第三较佳实施例立体图；

图4为本发明的第四较佳实施例立体图；

图5为本发明的第五较佳实施例立体图；

图6A为本发明具有三角截面的隔离凸缘；

图6B为本发明具有短条状截面的隔离凸缘；

图6C为本发明具有长条状截面的隔离凸缘；

图6D为本发明具有位置交错的隔离块；

图6E为本发明具有位置对称且呈长条状的隔离块；

图6F为本发明具有位置对称且呈短条状的隔离块；

图7为本发明的第六较佳实施例立体图；

图8为本发明的第六较佳实施例立体图；

图9为本发明的第六较佳实施例立体图；

图10为本发明的第六较佳实施例立体图；

图11为本发明的制程流程示意图；

图12为本发明的另一制程流程示意图；

图13是现有的隔离设计的并列式探针立体图；