[发明专利]一种探针短路防止结构

权利要求书

1.一种探针短路防止结构的制作方法，该探针短路防止结构是非导电材质形成的一隔离结构，其固定在多个并行排列探针中的至少一探针的结构中且凸出于该探针的宽度方向，其特征在于，上述探针短路防止结构的制作方法包含有以下步骤：

A.在一基板上的一牺牲层以电铸、化学镀、填涂导电材质或气相沉积的方式形成一探针第一局部；

B.于该探针第一局部的表面局部以光微影制程、雷射加工、热压成形、印刷或蚀刻的方式形成上述的隔离结构；

C.在该探针第一局部的对应位置上方形成一探针第二局部，使该探针第一局部与该探针第二局部形成上述的探针，并将该牺牲层去除，使该隔离结构与该探针一体成形。

2.如权利要求1所述的探针短路防止结构的制作方法，其特征在于，其中，该隔离结构固定在多个并行排列的探针中每一探针的结构中，且该隔离结构朝相邻探针方向凸出并与相邻探针具一间隔。

3.如权利要求1所述的探针短路防止结构的制作方法，其特征在于，其中，该隔离结构固定在多个并行排列的探针中每不相邻的探针的结构中，且该隔离结构朝相邻探针方向凸出并与相邻探针具一间隔。

4.如权利要求1、2或3所述的探针短路防止结构的制作方法，其特征在于，该探针包含一针体部分以及一接触部。

5.如权利要求4所述的探针短路防止结构的制作方法，其特征在于，该隔离结构设于该针体部分。

6.如权利要求4所述的探针短路防止结构的制作方法，其特征在于，该隔离结构设于该接触部。

7.如权利要求1、2、3所述的探针短路防止结构的制作方法，其特征在于，其中，每一设有隔离结构的该探针设有多个该隔离结构。