[发明专利]基板烧结炉的供排气系统

权利要求书

1.一种基板烧结炉的供排气系统，其特征在于，具有：

基板烧结炉，其具有炉体、循环路径、风扇以及加热器，其中，该炉体收容基板，并对基板进行烧结处理，该循环路径使从所述炉体排放出的热风循环，并再次供给到所述炉体中，该风扇设置在所述循环路径上，用于使热风循环，该加热器设置在所述循环路径上，用于加热热风；

催化剂单元，其具有催化剂，该催化剂用于分解从所述循环路径排放出的热风中所包含的有机物；

热交换器，其在从所述催化剂单元排放出的热风和供给到所述循环路径的新的气体之间进行热交换，

从加热后热风通过区域将热风排放到所述催化剂单元，其中，该加热后热风通过区域是在所述循环路径中从所述加热器至所述炉体的气体喷出口的区域。

2.如权利要求1所述的基板烧结炉的供排气系统，其特征在于，

所述催化剂单元配置为与所述加热后热风通过区域面对面。

3.如权利要求1所述的基板烧结炉的供排气系统，其特征在于，还具有：

计数单元，其对于收容在所述炉体内而进行烧结处理的基板的数目进行计数；

流量控制单元，其根据所述计数单元所计数的基板数目，对于从所述循环路径的排气量和向所述循环路径的供气量进行控制。

4.如权利要求1所述的基板烧结炉的供排气系统，其特征在于，

还具有旁通路径，该旁通路径不经由所述催化剂单元而直接向所述循环路径供给新的气体。

5.如权利要求4所述的基板烧结炉的供排气系统，其特征在于，还具有：

压损检测单元，其检测压力差，该压力差为从所述催化剂单元排放出并流入所述热交换器中的热风的压力和从所述热交换器排放出的热排放气体的压力之差；

供气路径切换单元，其在所述压力差达到规定值以上的时刻，使所述旁通路径动作。

6.如权利要求1所述的基板烧结炉的供排气系统，其特征在于，

所述基板烧结炉在惰性气体环境中对基板进行烧结处理，

所述供排气系统还具有空气供给管，该空气供给管将空气或氧气供给到所述催化剂单元的入口侧附近。