[发明专利]图像检查装置以及采用该图像检查装置的图像检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及拍摄像半导体晶片那样的板状、且透过红外光的被检查体的图像，并从该图像检查缺陷的图像检查方法以及图像检查装置的改良。

背景技术

有检查半导体晶片和液晶面板等板状的透明或半透明体的缺陷(裂纹或异物的附着)的装置。在本发明的说明中，虽然为了说明的方便，对半导体晶片的情况进行说明，但本发明的应用对象不限于半导体晶片(也有叫做单元的情况)。例如在专利文献1中公开了将红外线照射在作为被检查体的半导体晶体上，从而检查出半导体晶片的裂纹的检查装置。在专利文献1的图1中，图示了透过红外光的被检查体1、保持被检查体1的微动台2、向被检查体1照射红外光12的红外光源10、以紧贴红外光源10的方式设置的漫射器11、从漫射器11射出的红外线12。透过了被检查体1的红外线32，被安装了红外线透镜14的红外线照相机15检测出来，并在输入红外线照相机的影像信号的监控器16上作为图像被显示出来。

其次，对专利文献1所公开的装置的动作进行说明。从红外光源10射出的红外线被漫射器11均匀化，并从被检查体1的背面照射它。在此，被检查体1由微动台2从两侧(从下方)保持。照射的红外线透过被检查体1的表面，并由红外线透镜14将该透过的红外线收入红外线照相机15，监控器16以能够用目视确认的影像展示。在此，如果被检查体1设为例如实施图案加工等之前的半导体晶片，由于裂纹和其他部分的红外线的透过状态不同，因此便可以很容易地检查出裂纹。

在专利文献1所公开的装置中，对于被检查体1，用从其背面向表面透过的透过光进行检查。但是，由于单元的周边部分被微动台2遮蔽了透过光，因此存在该部分不能使透过光透过，而不能进行检查的问题。可是，半导体晶片的缺陷具有容易发生在其周边部分的性质，另外，为了提高半导体晶片的合格率，希望对检查半导体晶片的周边部分也进行检查。

专利文献1：特开平8-220008号公报

以往的图像检查方法以及图像检查装置如以上那样，是被检查体的周边部分被夹持被检查体的装置遮蔽的构成，因此存在如下的问题，即，当用透过光检查时，由于透过光不能透过被遮蔽的部分，故出现不能进行检查的部分。但是，不限于半导体晶片，为了到其周边为止全都利用，希望对被检查体的周边也进行检查。

发明内容

本发明是为了解决所述问题而研制成的，其目的在于得到可以检查到被检查体的端部为止的所有的部分的图像检查方法以及图像检查装置。

本发明的图像检查方法是包括如下步骤的检查方法，即：

由第一支撑机构支撑透过红外光的板状的被检查体的步骤；

从所述被检查体的一面照射红外光的步骤；

在所述被检查体的周围设置遮蔽所述红外光的掩模机构的步骤；

由设置在所述被检查体的另一面的红外线照相机，拍摄透过了所述被检查体的没有被所述第一支撑机构覆盖的部分的红外光的步骤；

在由第二支撑机构支撑所述被检查体之后，使所述第一支撑机构退避到不会遮蔽所述被检查体的位置上的步骤；

由设置在所述被检查体的另一面的红外线照相机，拍摄透过了所述被检查体的没有被所述第二支撑机构覆盖的部分的红外光的步骤。

另外，本发明的图像检查装置是具备如下部分的装置，即：

从透过红外光的板状的被检查体的一面照射红外光的红外光源，设置在所述被检查体的另一面，将透过了所述被检查体的红外光图像化的红外线照相机；

在与所述被检查体的板面大致相同的面内，以与所述被检查体的板的端面之间具有规定的间隙的方式配置、遮蔽所述红外光的掩模机构；

具有支撑所述被检查物的支撑机构，和使该支撑机构退避到不会覆盖所述被检查体的板面的位置上的退避机构的被检查体保持机构。

发明的效果

根据本发明的图像检查方法以及图像检查装置，由于支撑被检查体晶片的多个保持台中的几个相互交替地退避，因此不会妨碍半导体晶片的周边部分的检查。另外，通过设置距半导体晶片的周围有规定的间隙的掩模机构，不会使照相机发生光晕，周边部分也可以进行稳定的检查。通过将红外光漫射体用作光漫射板，除了容易防止光的光晕之外，也可以进行红外光源的保护。

附图说明

图1是展示本发明的实施方式1的图像检查装置的构成的剖面图。

图2是说明图1的装置的动作的说明图。

图3是说明图1的装置的构成的细微部分的图。

图4是图3的侧视图。

图5是展示实施方式2的图像检查装置的构成的剖面图。

图6是用于说明实施方式3的图像检查装置的图。