[发明专利]图像检查装置以及采用该图像检查装置的图像检查方法

权利要求书

1.一种图像检查方法，其特征在于，包括：

由第1支撑机构大致水平地支撑作为具有透过红外光线的性质的板状的被检查体的板状半导体晶片的步骤；

从所述被检查体的一面照射红外光线的步骤；

在与所述被检查体的板面大致相同的面内，在所述被检查体的外侧的周围设置遮蔽所述红外光线的掩模机构的步骤；

由设置在所述被检查体的另一面的红外线照相机，拍摄透过了所述被检查体的没有被所述第1支撑机构覆盖的部分的红外光线而得到图像，同时检查该图像的步骤；

当在与所述第1支撑机构的位置不同的位置上由第2支撑机构支撑所述被检查体之后，使所述第1支撑机构退避到不会遮蔽所述被检查体的位置上的步骤；以及

由所述红外线照相机，拍摄透过了所述被检查体的没有被所述第2支撑机构覆盖的部分的红外光线而得到图像，同时检查该图像的步骤。

2.一种图像检查装置，其特征在于，具备：

红外光源，从由具有透过红外光线的性质的板状半导体晶片构成的被检查体的一面照射红外光线；

第一支撑机构，大致水平地支撑所述被检查体，

红外线照相机，被设置在所述被检查体的另一面，拍摄透过了所述被检查体的所述红外光线而将其图像化；

掩模机构，在与所述被检查体的板面大致相同的面内，在所述被检查体的外侧，以与所述板状的被检查体的端面之间具有规定间隙的方式配置，以遮蔽所述红外光线；

第二支撑机构，在与所述第一支撑机构的位置不同的位置上支撑所述被检查体；以及

退避机构，在利用所述第二支撑机构支撑所述被检查体之后，使所述第一支撑机构退避到不遮蔽所述被检查体的位置。

3.如权利要求2所述的图像检查装置，其特征在于，支撑所述被检查体的所述第一支撑机构和所述第二支撑机构中至少一个由透过所述红外光线的玻璃板构成。

4.如权利要求2所述的图像检查装置，其特征在于，所述掩模机构和所述被检查体的端面之间的所述规定间隙为0.2～1mm。

5.如权利要求2所述的图像检查装置，其特征在于，所述掩模机构具有：设置在与所述被检查体的端面相对的位置上的锐端部、和使从所述红外光源发出的红外光线向没有所述被检查体的一侧反射的倾斜部。