[发明专利]基板检测装置无效
| 申请号: | 200710098227.4 | 申请日: | 2007-04-13 |
| 公开(公告)号: | CN101285783A | 公开(公告)日: | 2008-10-15 |
| 发明(设计)人: | 郑益骐;王政宏;周美惠;林煜斌;苏振平 | 申请(专利权)人: | 华泰电子股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01R31/302;H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周建秋;王凤桐 |
| 地址: | 中国台湾高雄*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 检测 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种基板检测装置,更特别涉及一种检测基板背面的装置。
背景技术
在封装技术领域中,为使芯片固定于基板上,常在芯片背面涂布一层银胶,并烘烤使其固化,以使芯片能牢固地附着于基板上。在某些时候,当银胶尚未烘烤固化完全时,基板背面常需要检测,以了解是否有缺陷。目前所使用的检测方式,是将基板翻转以让人员能够清楚地看到基板背面的情况,从而了解是否有缺陷。然而,当银胶尚未完全固化时,翻转基板常会造成芯片的偏移。
因此,便需要提供一种基板检测装置,以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基板检测装置,可让检测员无须翻转基板即可清楚地看到基板背面,从而避免因黏胶尚未固化而造成因翻转基板导致芯片偏移的问题。
为达到上述目的,本发明的基板检测装置包括底座以及由底座向上延伸的两相对支撑件,两支撑件共同界定出观测开口及检测开口。承置架跨设于两支撑件上,并围构出该检测开口,使得当待测的基板以正面朝上的方式放置于承置架上时,基板背面待检测的部分将露出检测开口。在承置架的下方设置有反射镜,该反射镜位于两支撑件之间,并可绕旋转轴旋转;位于支撑件上的旋钮则可调整反射镜的反射面的转动角度,以使基板背面的影像能从观测开口反射出,以方便检测员观察,由此检测基板背面的缺陷。此外,本发明的基板检测装置还包括光源,用来照亮露出承置架开口的基板背面,以使检测员能够更清楚地看到基板背面的缺陷。
本发明的基板检测装置可让检测员无须翻转基板即可清楚地看到基板背面,从而避免因黏胶尚未固化而造成因翻转基板导致芯片偏移的问题。
为了让本发明的上述和其它目的、特征、和优点能更明显,下文将结合附图,作详细说明如下。
附图说明
图1为本发明的基板检测装置的立体图。
图2表示待检测的基板放置于本发明的基板检测装置上。
【主要组件符号说明】
100:基板检测装置,110:底座,120:支撑件,122:顶面,
130:承置架,131:检测开口,132:杆件,133:观测开口,
134:凹部,136:突起部分,138:缺口,140:反射镜,
142:反射面,150:光源,160:旋钮,170:固定件,
180:旋转轴,190:片状结构。
具体实施方式
参考图1,本发明的基板检测装置100包括底座110以及两个由底座100向上延伸的相对支撑件120,两支撑件120共同界定出观测开133及检测开口131。在两支撑件120之间设置有反射镜140,并且反射镜140可绕旋转轴180旋转,设置在支撑件120上的旋钮160则可调整反射镜140的反射面142的转动角度。
参考图2,当欲检测基板的背面时,先将基板210以背面朝下的方式置于两支撑件120之间,并使基板210位于检测开口131中,检测员可转动旋钮160调整反射镜的反射面142的转动角度,以使基板210背面的影像能由观测开口133反射出,以方便检测员观察,由此检测基板210背面的缺陷。
再参考图1与图2,为使基板210能够放置于支撑件120上的固定位置,本发明的基板检测装置100优选还包括承置架130,该承置架设置于反射镜140的上方,并跨设于两支撑件120的顶面122,同时围构出该检测开口131。检测时检测员可将基板210放置于承置架130上,因此基板210会很自然地露出检测开口131。另外,为让检测员能清楚地看到具有不同颜色的基板背面,两支撑件120之间还包括光源150,用来照亮露出检测开口131的基板背面,以使检测员能透过观测开口133,更清楚地看到基板背面的缺陷。
由于绝大部分的基板都呈矩形,因此,承置架130优选以两根相互平行的杆件132构成,各杆件132的两端分别设置在两支撑件120上。当基板以背面朝下的方式置于两杆件132上时,基板背面待检测的部分会很自然地暴露出。为使基板能够稳固地置于杆件132上,两杆件132的相对侧的上表面形成有平行杆件132的凹部134,检测员可将基板的相对两侧放在凹部134上。由于杆件132的凹部134的旁边为突起部分136,因此基板可受所述两突起部分136的阻挡,从而不致因晃动而从杆件132上滑出。
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