[发明专利]基板检测装置无效
| 申请号: | 200710098227.4 | 申请日: | 2007-04-13 |
| 公开(公告)号: | CN101285783A | 公开(公告)日: | 2008-10-15 |
| 发明(设计)人: | 郑益骐;王政宏;周美惠;林煜斌;苏振平 | 申请(专利权)人: | 华泰电子股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01R31/302;H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周建秋;王凤桐 |
| 地址: | 中国台湾高雄*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 检测 装置 | ||
1.一种基板检测装置,包括:
底座;
两个支撑件,所述两个支撑件由该底座向上延伸并相对设置,并且界定出观测开口及检测开口,当待检测的基板放置于所述两个支撑件之间时,该基板位于该检测开口中;及
反射镜,所述反射镜设置于所述两个支撑件之间,并可绕旋转轴旋转,以将该检测开口中的基板影像反射至该观测开口。
2.如权利要求1所述的基板检测装置,其中,所述两个支撑件上还设置有承置架,该承置架跨设于所述两个支撑件之间,以在所述两个支撑件间围构出该检测开口。
3.如权利要求2所述的基板检测装置,其中,该待检测的基板以正面朝上的方式放置于该承置架上,该反射镜通过该检测开口接收该待检测基板的背面影像。
4.如权利要求3所述的基板检测装置,还包括:
光源,所述光源设置于所述两个支撑件之间,用以照亮待检测基板的背面。
5.如权利要求1所述的基板检测装置,还包括:
旋钮,所述旋钮设置于其中一个支撑件上,用以控制该反射镜绕该旋转轴旋转的角度。
6.如权利要求2所述的基板检测装置,其中,该承置架由两个相互平行的杆件构成,各杆件跨设于所述两个支撑件上。
7.如权利要求6所述的基板检测装置,其中,所述两个杆件的相对侧的上表面形成有平行于各杆件的凹部。
8.如权利要求6所述的基板检测装置,其中,所述两个杆件中的其中一个可在所述支撑件上移动,以调整两杆件间的距离。
9.如权利要求8所述的基板检测装置,其中,该可移动的杆件可滑动地设置于所述支撑件上。
10.如权利要求9所述的基板检测装置,还包括:
两个旋钮,所述两个旋钮分别用以将该可滑动的杆件固定于所述两个支撑件上。
11.如权利要求6所述的基板检测装置,其中,各杆件中央处的上表面形成有通至所述凹部的缺口。
12.如权利要求4所述的基板检测装置,其中,所述两个支撑件为相对设置于该底座的第一片状结构,该基板检测装置还包括两个设置于该底座上的第二片状结构,所述第二片状结构与所述第一片状结构共同将光源圈围住。
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