[发明专利]光学检测系统

说明书

技术领域

本发明涉及光学检测系统，更具体地说涉及利用光学方式对检测对 象物(印制电路板)的外观进行检测的检测系统。

背景技术

近年来，液晶显示装置的驱动集成电路(LCD Driver IC)、存储器、 及LSI等各种半导体集成电路、以及超小型产品等中使用的一种主要材 料——印制电路板制造成薄膜、带子等形态。

在这种印制电路板中多使用统称为TAB(Tape Automatic Bonding) 或COF(Chip On Film)板的电路。薄膜、带子形态的印制电路板通过曝 光、显影等制造工序形成图案，但是，这种图案随着半导体器件逐渐超 小型化而极微细化，实际上很难通过目视检测图案的缺陷。随之，为了 对形成图案的原材即印制电路板及形成在印制电路板上的图案的缺陷等 进行准确且迅速的检测，需要引入光学检测系统。

一般，光学检测系统利用摄像机、图像传感器等进行光学检测，这 时，光学自动检测系统利用各种照明装置，使印制电路板的外观的不合 格突出，实施准确的检测，为了准确检测不合格，从多种照明装置中选 择某一个照明装置是必须的。

但是，使用同轴下射照明的光学检测系统1具有如下的问题。如图1 所示，同轴下射照明2具有使从侧面射入的光向检测对象物10侧折射的反 射镜3，但是，该反射镜3在使照明2的光向检测对象物10侧折射的过程中 产生光的光量损失。并且，摄像装置8(采用透镜的行CCD传感器(LINE CCD SENSOR))通过同轴下射照明的反射镜3看到影像，所以由反射镜 3产生折射现像而产生焦点偏移的现像。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光学检测系统，从多角度入射的光的成 分中，仅将可以通过检测对象物的表面上的特征来较好地突出不合格形 状的光的成分由摄像装置接收，检测希望的不合格来提高检测的可靠性。

本发明的另一目的是提供一种具有能够得到清晰的影像的照明装置 的光学检测系统。

本发明的再一目的是提供一种通过突出检测对象物表面上的不合格 形状来提高检测的可靠性的光学检测系统。

根据为了实现上述目的的本发明的一个特征，对检测对象物的表面 进行光学检测的光学检测系统包括：摄像机，对检测对象物的表面进行 摄像；至少两个照明，向要由上述摄像机拍摄的上述检测对像物的摄像 区域照射光；及遮断部件，遮断非垂直光，使得由上述摄像区域反射而 垂直入射到上述摄像机的垂直光不与从上述至少两个照明照射的上述非 垂直光冲突，并反射一部分非垂直光而转换为垂直成分。

在该特征的优选的实施例中，上述至少两个照明包括：主照明，被 设置成以第一角度向上述检测对象物的摄像区域表面照射光；及辅助照 明，被设置成以比上述主照明的第一角度小的倾斜角度照射光。

在该特征的优选的实施例中，上述主照明位于比上述辅助照明更靠 近上述摄像区域；随着远离上述摄像区域，上述主照明和上述辅助照明 的高度依次降低。

在该特征的优选的实施例中，上述遮断部件包括设置在上述垂直光 通过的路径和上述至少两个照明之间的遮断板；遮断板包括外侧面，该 外侧面引导从上述至少两个照明照射的光，以使其照射到上述摄像区 域。

在该特征的优选的实施例中，上述遮断板包括外侧面，该外侧面引 导从上述多个辅助照明照射的光，以使其照射到上述摄像区域；上述遮 断板的外侧面由反射面构成。

在该特征的优选的实施例中，上述遮断板的外侧面可以倾斜成朝向 上述摄像区域。

在该特征的优选的实施例中，上述遮断部件还包括铰接部，该铰接 部设置在上述遮断板上，以便能够对沿着上述遮断板的外侧面向上述摄 像区域引导的光的角度进行调节。

在该特征的优选的实施例中，上述遮断部件还包括支承板，该支承 板设置在上述遮断板上，并在底面设有上述主照明和上述辅助照明。

在该特征的优选的实施例中，上述支承板设置成可旋转，以便能够 调节上述主照明和上述辅助照明的照射角度。

在该特征的优选的实施例中，上述主照明和多个辅助照明可旋转地 设置在上述支承板的底面(可调节照射角度)。

在该特征的优选的实施例中，上述主照明的第一角度和上述遮断板 的外侧面的倾斜角度优选与上述摄像区域的表面所成的角度为75°至 90°。